产业类别
电子信息,互联网,航空航天,海洋产业,新能源汽车,医疗器械,生物医药,生命健康,机器人,高端装备,节能环保,生态修复,交通/物流/供应链,农业,文化创意设计,新能源与节能,新材料,高技术服务,军工业,电子商务,建筑业,5G/移动通信,物联网,软件,集成电路,云计算,区块链,人工智能,大数据
扶持标准
一、支持第三代半导体等前沿半导体设计企业研发创新
支持第三代半导体等前沿半导体设计企业,围绕人工智能、消费电子、5G移动通信、新能源汽车、智能电网、轨道交通等行业需求,开展新型半导体器件的设计研发和批量验证的流片及掩膜版制作。对上一年度已执行的器件批量验证流片合同、掩膜版制作合同实际发生费用,按照不超过30%的比例,给予最高不超过2000万元的资金支持。
二、支持第三代半导体等前沿半导体先进工艺成果转化和产业化
支持第三代半导体等前沿半导体企业开展新型器件设计以及衬底、外延、器件、模组、工艺线等制造环节辅助材料和关键核心设备的研发及成果转化,进一步提升关键环节核心器件、材料和制造装备的自主可控能力。支持企业投资新建大尺寸半导体工艺、材料、设备生产线,提高产品良率,降低工艺成本,不断提升产能。对上一年度开展晶圆加工、材料与设备生产的零部件采购、原材料和设备购置等实际支出,按照不超过30%的比例,给予最高不超过2000万元的资金支持。