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支持方式为事后直接资助，标准如下： 资助标准为资助金额不超过一定期限内深圳市首台（套）重大技术装备产品销售额（不含税）的30%，单个企业可申报资助金额不超过1000万元。套、台、件、批分类原则按照首台（套）目录中产品单位的分类要求。

申报项目按产品类别划分（每个项目包含一类产品，对应一个首台套目录编号），申报项目的材料须按以下顺序排列，不同材料间用红色纸张相隔，编写目录及页码，并装订成册（统一使用白色纸质封皮，书脊须打印年份、专题、项目名称、单位名称），在材料封面、封底加盖公章及在材料侧面加盖骑缝公章。材料一式1份。材料清单如下： （一）《深圳市首台（套）重大技术装备扶持计划申请书》（登录广东政务服务网，选择“深圳市--市工业和信息化局”，搜索申报事项名称“首台套重大技术装备扶持计划”，在线填报（http://wb.gxj.sz.gov.cn/indprom/sfm/#/ apply?itemCode=4403000000005907069931000303728001）。 提供通过系统打印的《申请书》纸质版原件（申报承诺书须有法人代表签字并加盖公章）。 （二）申报单位营业执照、统一社会信用代码（组织机构代码证）、税务登记证（“三证合一”的仅提供营业执照）。 （三）经会计师事务所审计的近三年财务报告或由企业法人签字的单位财务决算报表复印件。 （四）法定代表人身份证复印件（注明与原件相符，加盖公章）。 （五）税务部门提供的单位上年度完税证明复印件。 （六）装备研制企业和用户在2019年8月5日至申报截止日期前签订的销售合同（合同内容应包含申报装备产品的主要技术参数，且符合对应目录主要参数指标。如销售合同未包含技术参数，则应提供与销售合同同时签订的技术合同等）复印件（如合同为外文的，须翻译成中文，否则视为无效）。 （七）增值税专用发票及银行到账凭证复印件（企业为小规模纳税人的，可提供增值税普通发票；发票中所列装备产品名称必须与申报装备产品名称一致，如发票为外文的，需翻译成中文，否则视为无效；如有多张发票，应提供相应的发票汇总表格）。 （八）国产设备/零部件/系统的合同、发票等证明材料。 （九）与销售合同对应的装备产品实际用户使用报告复印件。 （十）用户收货凭证或竣工验收报告、装备产品现场安装调试或使用照片等相关证明材料。 （十一）发明专利与申报装备产品关联性的说明，并提供相关已授权发明专利证书复印件；涉及专利转让的，需提供发明专利变更申报书、专利转让合同等相关证明材料。 （十二）由省级及以上法定第三方检测机构出具的装备产品检测报告复印件。如检测报告为外文的，须翻译成中文，否则视为无效。 （十三）申报装备产品的保险合同复印件、保险费发票及支付保险费对应的支出凭证复印件，保险合同签订日期应在2019年8月5日至申报截止日期前（如有）。 （十四）申报装备产品由承保保险公司出具的实地查勘报告及彩色照片（含装备产品全貌和铭牌，如有），其中出口装备产品提供报检报关完整资料凭证。

市工业和信息化局关于发布2022年首台（套）重大技术装备扶持计划申报指南的通知 http://gxj.sz.gov.cn/xxgk/xxgkml/qt/tzgg/content/post_9042085.html