科研专业方向
研究领域：
医学影像诊断技术
研究方向：
高精度微型加速度计和压力传感器
郝教授
教授
北京北京市
科研重点分布
近年科研重点
2005
微机电系统 音叉 谐振器 加速度计 体硅工艺 动态测试 频闪成像 计算机视觉2006
MEMS 扭转微镜 硅微加工 SOI 复合驱动 表面粗糙度 光学微镜 垂直扭转科研产出增长曲线
历年科研产出
学科论文分布
无线电电子学：19
仪器仪表工业：8
自动化技术：6
计算机软件及计算机应用：1
电力工业：1
工业通用技术及设备：1
总数:
35
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- 产学研合作
- 基金课题
- 荣誉&成就
- 科研成果
产学研合作
合作信息
| 合作单位 | 合作论文数量 |
|---|---|
| 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 | 7 |
| 清华大学精密仪器系 | 2 |
| 天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室 | 2 |
| 纳米加工技术国家级重点实验室 | 2 |
| 东南大学微电子中心 | 2 |
| 辽宁大学 | 1 |
| 北京理工大学信息科学技术学院 | 1 |
| 天津大学精仪学院 | 1 |
| 清华大学精仪系 | 1 |
| 东南大学无线电系射频与光电集成电路研究所 | 1 |
| 工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室 | 1 |
| 西北工业大学航海学院 | 1 |
| 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室 | 1 |
| 纳米加工技术国家重点实验室 | 1 |
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基金课题
| 论文标题 | 基金名称 |
|---|---|
| 硅微机械音叉式谐振器 | 国家自然科学基金项目 |
| MEMS动态测试技术 | 国家863高技术研究发展计划资助项目 |
| 微加工工艺应力的喇曼在线测量 | 国家高技术研究发展计划 |
| 基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征(英文) | Supported by the National Natural Science Foundation of China |
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荣誉&成就
先后获教育部科技进步二等奖，北京市科技进步一等奖、原国家计委、科委和财政部颁发的国家科技攻关重大成果奖等。
科研成果
- 期刊论文
- 技术成果
- 专利
用于MEMS仿生矢量水听器流激噪声抑制的“三明治”式封装结构设计与性能测试（英文）
微加速度计冲击可靠性及防护
16×16光开关微镜阵列（英文）
FIB加工的三维单晶硅纳米螺旋的机械特性
金属有机化学汽相淀积生长的本征氮化镓中持续光电导和复合机制的研究(英文)
基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜(英文)
表面镀铜悬浮厚单晶硅螺线MEMS电感（英文）
基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征(英文)
硅微机械音叉式谐振器
MEMS动态测试技术
用于MEMS的单晶硅上无电镀铜、镀镍工艺
复合静电驱动结构致动的内旋转微镜(英文)
AlGaN/GaNMSM紫外探测器特性
一种新型体硅谐振加速度计(英文)
硅微机械扭转微镜的研究进展
加速度系统的结点化模型仿真
集成化MEMS工艺设计技术的研究
纳米硅薄膜材料在场发射压力传感器研制中的应用
基于谐振原理的硅微机械加速度计
硅基MEMS加工技术
微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状
MEMSCAD系统IMEE的研究和开发
用于MEMS器件芯片级封装的金-硅键合技术研究
扭转微镜光学致动器研究
基于模糊图像合成的微结构平面运动测量技术
硅各向异性腐蚀模型及其模拟进展
基于计算机视觉的MEMS测试系统
具有光纤自定位保持结构的2×2扭转微镜光开关阵列的制作和机电特性（英文）
硅在KOH中各向异性腐蚀的物理模型
硅基MEMS加工技术及其标准工艺研究
微型隧道效应磁强计的设计和加工工艺研究
硅基MEMS技术
硅表面牺牲层技术
跨世纪的新技术——微机电系统（MEMS）
微加工工艺应力的喇曼在线测量
基于微加工技术的微纳集成制造原理及方法研究
多元材料跨尺度微纳加工与设计方法
硅基MEMS技术及应用研究
一种MEMS热式麦克风及其实现方法
一种二维热式声矢量传感器芯片及其实现方法
一种片上集成的声矢量梯度传感器芯片及其实现方法
一种声场增强微结构的MEMS热式声粒子振速传感器及方法
一种提高GaNL-FER反向击穿电压的器件结构及实现方法
一种减小GaN功率开关器件电流坍塌的器件结构
一种提高GaNHEMT钝化效果、降低电流崩塌的表面处理技术
双脉冲软开关测试法区分GaNHEMT表面及缓冲层电流坍塌
一种提高硅基GaNHEMT关态击穿电压的器件结构及实现方法
一种MEMS热式声粒子传感器
一种高温压力传感器及其加工方法
一种耐高温欧姆接触电极结构及其加工方法
高温压力传感器测试装置
一种硅玻璃镶嵌结构微机械差分电容式压力计
一种提高增强型GaNMOS沟道迁移率的器件结构及实现方法
基于数字化湿法栅刻蚀技术形成GaN增强型MOSFET及制备方法
一种制备悬浮纳米结构的方法
一种不等高硅结构的加工方法
一种不等高硅结构与集成电路的单片集成加工方法
一种微机械结构与集成电路单片集成的加工方法
一种微机械结构与集成电路单片集成的加工方法
可变光衰减器件及其制备方法
一种用于微机械谐振式器件的升频驱动控制方法
一种基于表面增强拉曼散射活性基底的微流控检测器件
一种悬臂梁微量检测传感器及其制备方法
抗震装置及其制备方法
可变刚度梁及其制备方法、致动方法
一种纳米柱森林的加工方法
一种多样性纳米结构的加工方法
静电振镜及其制作方法
静电致动器及其制备方法、抗瞬时扰动方法
一种微型多功能光学器件及其制备方法
一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法
一种动作仿真控制方法及其系统
一种多角度垂直反射镜面的制造方法及产品
一种微型光学器件及其制备方法
一种加工周期性纳米结构器件的方法
纳机电非挥发随机存取存储器
一种FinFET电路与纳机电梁集成的芯片及其制作方法
射频电感的制备方法
差分式抗高过载微型隧道加速度计及其制备方法
体硅MEMS器件集成化方法
对准键合精度检测系统
移动波导光开关及其制作方法
一种CMOS电路与体硅微机械系统集成的方法
微机电系统器件的真空封装方法
硅、金属、介质膜桥射频微机电系统开关
一种横向检测式陀螺
一种用于表面工艺多晶硅结构释放的方法
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