科研专业方向
研究领域：
半导体新材料制备与应用技术
研究方向：
微纳制造技术，微机电系统及器件，宽禁带半导体器件
吴教授
教授
北京北京市
科研重点分布
近年科研重点
2006
MOSFET 表面势 解析近似 器件建模 MEMS 扭转微镜 硅微加工 SOI科研产出增长曲线
历年科研产出
学科论文分布
无线电电子学：11
电力工业：2
仪器仪表工业：2
自动化技术：1
外国语言文字：1
机械工业：1
总数:
18
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- 产学研合作
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- 荣誉&成就
- 科研成果
产学研合作
合作信息
| 合作单位 | 合作论文数量 |
|---|---|
| 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 | 5 |
| 纳米加工技术国家重点实验室 | 3 |
| 东南大学射频与光电集成电路研究所 | 2 |
| 东南大学微电子中心 | 2 |
| 纳米加工技术国家级重点实验室 | 1 |
| 东南大学无线电系射频与光电集成电路研究所 | 1 |
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基金课题
| 论文标题 | 基金名称 |
|---|---|
| MOSFET表面势解析近似方法的改进（英文） | 国家自然科学基金 |
| 基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征(英文) | Supported by the National Natural Science Foundation of China |
荣誉&成就
暂无荣誉成就信息
科研成果
- 期刊论文
- 技术成果
- 专利
聚焦离子束致形变微纳加工研究进展
基于FIB-SID技术的三维金属无源电感制备与测试
纳米森林的制备及应用
如何写好科技论文的英文摘要
16×16光开关微镜阵列（英文）
FIB加工的三维单晶硅纳米螺旋的机械特性
MOSFET表面势解析近似方法的改进（英文）
MOSFET表面势解析近似方法的改进（英文）
基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜(英文)
表面镀铜悬浮厚单晶硅螺线MEMS电感（英文）
基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征(英文)
用于MEMS的单晶硅上无电镀铜、镀镍工艺
复合静电驱动结构致动的内旋转微镜(英文)
硅微机械扭转微镜的研究进展
扭转微镜光学致动器研究
硅各向异性腐蚀模型及其模拟进展
具有光纤自定位保持结构的2×2扭转微镜光开关阵列的制作和机电特性（英文）
硅在KOH中各向异性腐蚀的物理模型
多元材料跨尺度微纳加工与设计方法研究
多元材料跨尺度微纳加工与设计方法
一种表面等离激元超材料的制备方法
一种三维纳米天线阵列的制备方法
一种偏振控制的表面等离激元双功能超表面及其设计和制备方法
一种三维全金属微腔结构表面等离激元阵列加工方法
一种基于纳米银颗粒的表面增强拉曼散射衬底制备方法
基于自停止刻蚀的氮化镓基材料开槽欧姆接触的制备方法
一种基于表面等离子体耦合结构的全息成像膜
一种基于表面等离子体耦合结构的全息成像膜
带氮化镓插入层的氮化镓基增强型器件及其制备方法
基于自停止刻蚀的氮化镓基器件隔离的制备方法
一种纳米超材料全色域调色板
一种利用聚焦离子束与MEMS工艺制备0.1THz的加脊喇叭天线方法
一种基于聚焦离子束和MEMS加工方法的纳米网孔薄膜微流控器件的设计
一种基于聚焦离子束和MEMS加工工艺的可调控超材料阵列设计
基于扇贝效应表面等离子体激元耦合纳米阵列加工工艺
基于扇贝效应表面等离子体激元耦合纳米阵列加工工艺
一种基于电解液-氧化层-半导体结构的铜离子检测方法
氮化镓盖帽层掩模的凹槽栅氮化镓基增强型器件制备方法
氮化镓盖帽层掩模的凹槽栅氮化镓基增强型器件制备方法
一种垂直方向纳米网格结构的制备方法
一种图形化纳米颗粒自组装制造方法
一种图形化纳米颗粒自组装制造方法
一种三维微纳米结构的组装方法
一种三维微纳米结构的组装方法
一种超疏水性硅衬底制造方法
一种超疏水性硅衬底制造方法
一种细颗粒物过滤结构及其制备方法
一种细颗粒物过滤结构及其制备方法
基于自停止刻蚀的凹槽栅氮化镓基增强型器件的制备方法
一种基于氮化镓基材料的自停止刻蚀方法
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一种制作空气桥及电感的方法
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一种氮化镓基器件的湿法腐蚀方法
一种可变电容及其制作方法
微流控表面增强拉曼散射检测器件及其制备方法与应用
微流控表面增强拉曼散射检测器件及其制备方法与应用
一种制备悬浮纳米结构的方法
光纤阵列固定器件及其制备方法
可变光衰减器件及其制备方法
一种基于表面增强拉曼散射活性基底的微流控检测器件
一种悬臂梁微量检测传感器及其制备方法
抗震装置及其制备方法
可变刚度梁及其制备方法、致动方法
一种纳米柱森林的加工方法
一种多样性纳米结构的加工方法
静电振镜及其制作方法
静电致动器及其制备方法、抗瞬时扰动方法
一种微型多功能光学器件及其制备方法
一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法
一种多角度垂直反射镜面的制造方法及产品
一种微型光学器件及其制备方法
一种加工周期性纳米结构器件的方法
纳机电非挥发随机存取存储器
一种FinFET电路与纳机电梁集成的芯片及其制作方法
射频电感的制备方法
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