科研专业方向
研究领域:
半导体新材料制备与应用技术
研究方向:
真空与薄膜技术、功能薄膜材料: 1)径流分子泵性能研究及在大型真空设备上的应用 2)钢板上真空镀锌和锌镁合金镀层技术 3)二氧化钛光催化薄膜 4)透明导电薄膜
研究领域:
半导体新材料制备与应用技术
研究方向:
真空与薄膜技术、功能薄膜材料: 1)径流分子泵性能研究及在大型真空设备上的应用 2)钢板上真空镀锌和锌镁合金镀层技术 3)二氧化钛光催化薄膜 4)透明导电薄膜
合作单位 | 合作论文数量 |
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新加坡国立大学物理系 | 2 |
合肥工业大学机械学院真空教研室 | 1 |
上海仁爱医院检验科 | 1 |
上海交通大学附属上海第一人民医院消化内科 | 1 |
同济大学附属第十人民医院消化内科 | 1 |
中国农业科学院上海兽医研究所农业部动物寄生虫学重点开放实验室 | 1 |
论文标题 | 基金名称 |
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射频磁控溅射制备纳米TiO2薄膜的光电化学行为 | 国家自然科学基金 |
射频磁控溅射制备纳米TiO2薄膜的光电化学行为 | 20273018)上海市分子催化和功能材料重点实验室资助项目~~ |
国际上首次采用径流分子泵对连续镀膜生产线进、出片系统进行重组优化,完成了“高效、清洁、节能的连续真空镀膜设备”。降低了油蒸汽污染,提高镀膜产品质量;节省抽气能耗50%;缩短抽气时间30%。 在单箱式大型蒸发镀膜设备上,用径流分子泵+电弧吸附泵彻底取代了原来的扩散泵+罗茨泵,节能80%,无油蒸汽污染,产能翻一番。这是国际上第一台淘汰了扩散泵的大型蒸发镀膜设备。先后承担和参与上海市自然科学基金资助项目1项,卫生局资助项目3项和上海市临床药学科研基金1项以及新药临床前和临床评价项目等10余项课题研究。
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