极紫外同步辐射光表征离子束诱导的纳米波纹

基于低能离子轰击的亚波长纳米结构制备

合肥光源的衍射光栅制备技术

大麦虫幼虫肠道菌群对聚苯乙烯泡沫塑料降解

插入铝板对小尺寸油罐火燃烧行为的模拟分析

电子束光刻-近场全息法制作平焦场光栅的误差分析及补偿方法

大尺寸熔石英采样光栅的研究进展

大尺寸熔石英采样光栅性能提升

大尺寸熔石英采样光栅性能提升

弯月面涂胶均匀性改进

海洋可控源电磁三维非结构矢量有限元数值模拟

基于俯视SEM图像的矩形光栅占宽比检测方法

1种简易电去离子装置的建立及对含Cu2+废水的处理

软X射线双频光栅设计及制作

氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性

软X射线双频光栅剪切干涉法研究

HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的离子束刻蚀

用于1mSeya-Namioka单色仪的1200lp/mmLaminar光栅

大尺寸衍射光学元件的扫描离子束刻蚀

提高多层介质膜脉宽压缩光栅阈值的清洗方法(英文)

全息光刻中的驻波效应研究

1000线/毫米软X射线自支撑闪耀透射光栅的设计与制作

大口径多层介质膜光栅衍射效率测量及其在制作工艺中的应用

大面积软X射线自支撑金透射光栅的研制

角分辨光电子能谱光束线1200line/mm光栅研制

HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的Piranha溶液清洗

真空紫外硅闪耀光栅的制作

衍射法X射线激光分束光栅平行度测量系统（英文）

13.9nmLaminar分束光栅的研制

合肥同步辐射装置U26光束线45-115nm波段高次谐波抑制系统设计

软X射线位相型金透射光栅的设计与制作

衍射光学元件的扫描刻蚀深度在线检测

全息光刻-离子束刻蚀制作磁性亚微米结构

衍射光学元件制作中的基片涂胶方法

条形射频源大口径离子束刻蚀机性能(英文)

几种常用光学材料的离子束刻蚀特性研究

全息平面变间距光栅刻线弯曲程度分析

软X射线聚焦波带片相对衍射特性的实验研究

图形化铁磁性介质的激光干涉光刻法制作及其X射线磁性圆二色研究

振幅矢量叠加法分析X射线波带片加工误差对效率的影响

软X射线相位型聚焦波带片的研制

超高强度激光脉冲压缩用衍射光栅

软X射线偏折仪用自支撑莫尔光栅研制

用衍射场叠加法分析四种误差下的X光波带片

石英和BK7玻璃的离子束刻蚀特性研究

石英消偏器紫外真空紫外消偏特性研究

HfO2薄膜的离子束刻蚀特性研究

反应离子束刻蚀应用于光刻胶灰化技术研究

HfO2薄膜的反应离子刻蚀特性研究

Closed Draft无栅网离子源及其应用

消像差光栅的理论及实验研究

变线距光栅线密度的干涉测量

用长程面形仪对变线距光栅的线密度进行拼接测量