仿跳虫表皮柔性微结构阵列复型转移制备

基于模态局部化的弱耦合谐振式加速度传感器敏感机理研究

第8届上银优秀机械博士论文奖——银奖基于模态局部化的弱耦合谐振式加速度传感器敏感机理研究

多环谐振微机械陀螺的研究现状及发展趋势

一步成形法制备单细胞培养芯片

基于TPWL方法的MEMS热微执行器的热电耦合宏建模

离心芯片上虹吸阀的设计与制备

基于∑-△M的五阶MFLR数字微加速度计闭环控制系统

MEMS阵列式推进器及其音频采集系统设计与实现

微流控的系统级设计

银辅助化学刻蚀法制作硅纳米线的关键工序研究

MEMS陀螺六阶连续带通多反馈∑△M闭环控制系统（英文）

一种用电晕放电仪实现PDMS改性与键合方法

电容式微机械陀螺接口电路噪声分析

强磁干扰环境下磁航向误差补偿技术研究

基于MEMS传感器的起重机吊钩运动实时监控系统

基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作

基于模糊逻辑的MEMS陀螺零漂温度补偿技术

大输出微控制力矩陀螺的设计

静电梳齿驱动结构的稳定性分析

基于自适应UKF算法的MEMS陀螺空中在线标定技术

面向三维实体建模的MEMS设计方法

MEMS技术在流动分离主动控制中的应用

面向无人机的单芯片惯性测量组合

Notching效应在MEMS单步干法制造工艺中的应用（英文）

MEMS系统级仿真中的一种变截面梁建模方法

一种用于MEMS陀螺的高精度电容读出电路的设计

微机械陀螺的误差抑制电路研究

芯片毛细管电泳的系统级建模与仿真技术研究

用于壁面切应力测量的微传感器设计

基于Agent的微型工厂加工过程仿真研究

MEMS器件与电路共同仿真原型系统

含大规模端口的MEMS宏模型提取及角度参数化

一种新型的微型可编程闪耀光栅及其多光谱成像应用

Si微陀螺结构与接口电路的混合仿真

玻璃基底上的蛋白质微接触压印图型化(英文)

图型化蛋白质的微接触压印技术研究

压电式微型合成射流多域耦合数值模拟

用于微小型飞行器姿态估计的四元数扩展卡尔曼滤波算法(英文)

基于状态约束的MIMU/磁强计组合姿态估计滤波算法

一种从器件三维实体到工艺版图的MEMSCAD技术

基于异构宏模型的Z轴微加速度计系统级建模与快速仿真

流体边界层分离检测系统的设计和验证

MEMS版图抽取及系统级模型自动构建技术

支持任意流程的微机电系统设计工具

低速流体边界层分离检测试验

MEMS陀螺随机误差补偿在提高姿态参照系统精度中的应用

基于单元模型库的微陀螺快速原型与优化

微致动器用于翼面流场主动控制规律研究

一种改进的振动式微机械陀螺驱动电路

微致动器在流动控制中的应用研究

一种增大MEMS平板电容驱动器有效行程的新方法

微型热敏传感器的结构设计及仿真分析

微型柔性热敏传感器阵列应用研究

基于ACIS的MEMS工艺几何仿真的关键算法

基于数学形态学的微阵列芯片荧光图像处理与分析

基于几何莫尔效应的剪应力传感器设计研究

一种新型挠性轴内置式扭摆微加速度计的设计

一种用于主动流动控制的气泡型微致动器

基于集总参数宏模型的微机械陀螺多域耦合分析

基于柔性传感器阵列的边界层分离位置测定实验研究

二氧化硅反应离子刻蚀中的微负载效应研究

应用生物芯片技术研究人参对衰老小鼠脑组织基因表达谱的影响

基于基因表达谱芯片的人参对衰老脑组织作用研究

基于Krylov子空间投影法的MEMS宏建模方法

一种新型CCD图像采集系统设计

环形阵列微变形镜两种设计准则的分析比较

MEMS微结构粘附问题研究

基于微型剪应力传感器阵列的边界层分离点测定方法研究

基于微型压力传感器阵列的边界层分离点检测方法

用柔性微型传感器阵列测量边界层分离点的实验研究

微型可编程衍射光栅的特性分析

一种用于流动控制的MEMS微致动器研究

微型热敏传感器系统动态特性理论研究

一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法

具有空间连续行为的微型压力传感器系统级建模

电容式微机械陀螺接口电路

虚拟陀螺技术研究

一种MEMSCAD系统级到工艺级版图生成技术

基于微型热敏传感器阵列的边界层分离点测量研究

基于电渗流的微流控混和芯片系统级建模技术研究

一种微气泡型MEMS作动器研究

一个单芯片硅微惯性测量组合

一种可支持任意流程的MEMS设计工具

基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法

振子框架式微机械陀螺设计优化

MEMSCAD软件开发中参数化版图库的研究及实现

微结构的大转角非线性动态行为的宏建模方法

微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究

电容式微机械惯性传感器信号检测技术研究

平板式可变电容器宏建模及其在MEMS设计中的应用实例

基于Arnoldi算法的MEMS微梁的宏建模

静电活塞式驱动的分立式微镜的快速仿真(英文)

几种分立式微变形镜的性能模拟与比较

几种MEMS分立式微变形镜的设计与性能比较

桌面式微型工厂的装配方法

基于MIMU的微小型组合导航系统研究

音叉电容式微机械陀螺的误差源分析与消除

分立式微变形镜的单元排列方式对其性能的影响

微机电系统集成设计方法与实现技术