科研专业方向
研究领域:
电工、微电子和光电子新材料制备与应用技术
研究方向:
微机电系统技术及应用,主要面向航空航天领域,研究微纳设计理论及方法、微纳传感机理及微弱信号检测与调理技术以及相应的微纳检测及控制单元等系统集成技术等
研究领域:
电工、微电子和光电子新材料制备与应用技术
研究方向:
微机电系统技术及应用,主要面向航空航天领域,研究微纳设计理论及方法、微纳传感机理及微弱信号检测与调理技术以及相应的微纳检测及控制单元等系统集成技术等
合作单位 | 合作论文数量 |
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西安工业大学电子信息工程学院 | 2 |
纳米系统重点实验室 | 2 |
纳米系统实验室 | 1 |
成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 1 |
深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 | 1 |
空天微纳系统教育部重点实验室 | 1 |
中国工程物理研究院电子工程研究所 | 1 |
空间生物实验模拟技术国防重点学科实验室 | 1 |
西安近代化学研究所 | 1 |
纳系统教育部重点实验室 | 1 |
北京大学微电子学院 | 1 |
中国电力科学研究院有限公司 | 1 |
国网山东省电力公司济宁供电公司 | 1 |
论文标题 | 基金名称 |
---|---|
多环谐振微机械陀螺的研究现状及发展趋势 | 国家自然科学基金 |
静电梳齿驱动结构的稳定性分析 | 国家自然科学基金项目 |
微机电系统光学组件的系统级建模 | 国家863高技术研究发展计划 |
2020年教育部自然科学一等奖第八届上银优秀机械博士论文银奖指导教师奖中国机械工程学会青年科技成就奖 论文获奖:IEEE MEMS 2018杰出论文提名奖http://news.nwpu.edu.cn/info/1002/53552.htm IEEE Sensors 2017 Best PaperIEEE MEMS 2016 杰出论文奖http://news.nwpu.edu.cn/info/1002/43647.htmhttp://www.mems2016.org/awards.htmlTransducers 2015 杰出论文提名奖http://news.nwpu.edu.cn/info/1002/30332.htm
航天用微流式细胞术研究进展
粘附和根切对模态局部化加速度计的影响
模态局部化传感器研究进展
基于时间测量的加速度敏感方法
基于模态局部化的弱耦合谐振式加速度传感器敏感机理研究
第8届上银优秀机械博士论文奖——银奖基于模态局部化的弱耦合谐振式加速度传感器敏感机理研究
多环谐振微机械陀螺的研究现状及发展趋势
基于模态局部化效应的微机械加速度计研究进展
一步成形法制备单细胞培养芯片
微纳米光电器件用单层MoS2的制备与结构表征
PMMA固体电解质的导电桥纳米开关的制备和性能研究
基于TPWL方法的MEMS热微执行器的热电耦合宏建模
一种低噪声MEMS加速度计设计与制作
基于PDMS薄膜的微透镜制作方法
基于∑-△M的五阶MFLR数字微加速度计闭环控制系统
MEMS阵列式推进器及其音频采集系统设计与实现
基于三分量地磁滤波技术的微型AHRS算法研究
微流控的系统级设计
一种基于多重涡流新型微混合器的设计与实验
Notching效应在MEMS风速仪制造工艺中的应用
MEMS陀螺六阶连续带通多反馈∑△M闭环控制系统(英文)
一种用电晕放电仪实现PDMS改性与键合方法
强磁干扰环境下磁航向误差补偿技术研究
一种有效提高真空封装硅微陀螺仪机械稳定性的方法
基于MEMS传感器的起重机吊钩运动实时监控系统
基于间断性腐蚀法的铂热敏传感器的研制
微机电系统光学组件的系统级建模
基于杠杆的微机械陀螺结构设计与仿真
基于模糊逻辑的MEMS陀螺零漂温度补偿技术
大输出微控制力矩陀螺的设计
静电梳齿驱动结构的稳定性分析
基于自适应UKF算法的MEMS陀螺空中在线标定技术
面向三维实体建模的MEMS设计方法
一种细胞分选芯片的设计、制作和实验
面向无人机的单芯片惯性测量组合
Notching效应在MEMS单步干法制造工艺中的应用(英文)
MEMS系统级仿真中的一种变截面梁建模方法
一种用于MEMS陀螺的高精度电容读出电路的设计
微机械陀螺的误差抑制电路研究
一种高幅值稳定性的微机械陀螺闭环驱动电路
MEMS器件与电路共同仿真原型系统
一种抑制低频噪声的微机械陀螺C/V转换电路
含大规模端口的MEMS宏模型提取及角度参数化
Si微陀螺结构与接口电路的混合仿真
姿态参照系统中硅微机械加速度计的温度补偿
用于微小型飞行器姿态估计的四元数扩展卡尔曼滤波算法(英文)
基于状态约束的MIMU/磁强计组合姿态估计滤波算法
一种从器件三维实体到工艺版图的MEMSCAD技术
基于MEMS传感器的微型姿态确定系统研究
基于异构宏模型的Z轴微加速度计系统级建模与快速仿真
MEMS版图抽取及系统级模型自动构建技术
支持任意流程的微机电系统设计工具
MEMS陀螺随机误差补偿在提高姿态参照系统精度中的应用
一种改进的振动式微机械陀螺驱动电路
基于ASIC芯片的微小电容测量电路研究
一种MEMS工艺编辑软件的设计与实现
交叠式Allan方差在微机械陀螺随机误差辨识中的应用
基于ACIS的MEMS工艺几何仿真的关键算法
一种新型挠性轴内置式扭摆微加速度计的设计
基于Krylov子空间投影法的MEMS宏建模方法
梳齿谐振器宏模型的系统级应用
一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法
具有空间连续行为的微型压力传感器系统级建模
电容式微机械陀螺接口电路
虚拟陀螺技术研究
振动式微机械陀螺驱动控制电路研究
一种MEMSCAD系统级到工艺级版图生成技术
高性能微加速度计接口电路的研究
基于Σ-Δ调制技术的微加速度计系统研究
一个单芯片硅微惯性测量组合
一种可支持任意流程的MEMS设计工具
MEMSCAD软件开发中参数化版图库的研究及实现
电容式微机械惯性传感器信号检测技术研究
基于MIMU的微小型组合导航系统研究
音叉电容式微机械陀螺的误差源分析与消除
微机电系统集成设计方法与实现技术
一种新型MEMS射流转子陀螺
一种新型MEMS离心式陀螺
一种电容式微机械陀螺
聚合物基柔性微纳功能结构制造技术及其应用
一种用于细胞分选的微网筛结构及其使用方法
一种基于双质量块的三轴微加速度计
基于光电效应的微激光陀螺
一种基于反射式斜向莫尔条纹位移检测的微机械陀螺及其实现方法
电容式微机械陀螺
MEMS系统级设计中的一种变截面梁建模方法
微机电系统的跨时间尺度仿真方法
特种MEMS制造技术及其应用
振动式单框架微控制力矩陀螺
MEMS系统级设计中一种等腰梯形截面梁的建模方法
微机电系统的温度参数化降阶建模方法
微机电系统的角度参数化宏建模方法
单质量平板三轴微机械加速度计
任意流程的微机电系统设计工具技术及应用
“微机械与微细加工技术”及其相关理论与方法研究
基于半充盈葫芦气泡膜的柔性皮层脑电极辅助植入方法
一种可穿戴惯性-应变-肌电多模态交互手环
一种基于模态局部化效应的双路信号传感器
一种折叠式多芯片柔性集成封装方法及柔性集成封装芯片
一种低维飞行器芯片微系统、制备及控制方法
一种红外传感器模组及制备方法
一种高性能单细胞电阻抗检测微电极及制备方法
一种基于含流体通道弹性印章的可延展柔性电极转移方法
一种热剥离辅助可延展柔性神经电极接口集成工艺
一种半膨胀微球囊表面集成可延展刺激电极方法
一种三维分裂重组被动式微混合器
一种芯片级圆盘式声光驻波陀螺
一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计
一种静电式旋转、直线往复运动耦合能量收集器
一种绳索往复驱动式多层驻极体旋转发电机
基于电热材料/介电弹性聚合物的复合柔性致动器及方法
一种基于自膨胀水凝胶的三维柔性神经微电极及制备方法
一种基于酢浆草仿生结构的柔性神经微电极及制备方法
一种应力诱发的自卷曲网状卡夫神经电极及其制备方法
一种植入式可延展多模式记录与光刺激脑机接口器件
MEMS传感器阵列式高精度输出控制方法
一种提升低成本MEMS阵列式传感器环境鲁棒性的控制方法
一种提升MEMS传感器环境适应性的智能自校准控制方法
一种芯片级谐振式声光耦合固态波动陀螺
一种IC芯片的柔性化制造方法
一种MEMS器件的刚度调节方法
基于等高微柱的开放式三维细胞培养芯片及其制备技术
基于弱耦合微机械谐振器的微弱静电场测量装置及方法
在微流控芯片中制备低熔点合金电极的方法
基于模态局部化效应的微弱磁场测量装置及方法
基于弱耦合微机械谐振器的高灵敏度电压测量装置及测量方法
基于超轻银纳米线气凝胶催化的过氧化氢电化学传感器及方法
一种平面梳齿型超级电容器的制作方法
一种MEMS线性静电驱动技术
一种堆栈式旋转静电发电机
一种基于永磁悬浮陀螺的多功能驻极体发电机
一种蜂窝式驻极体/静电能量采集器
功能分离的单细胞级直接共培养芯片及其使用及制备方法
一种基于模态局部化效应的四自由度弱耦合谐振式加速度计
基于模态局部化效应的大量程室温单电子分辨率静电计
一种弱耦合谐振式传感器的线性化输出检测方法
一种纳流级耐高压电化学微泵
一种基于时间测量的单器件虚拟加速度计及其实现方法
基于氮掺杂石墨烯气凝胶的氧气还原催化剂及其制备方法
面向离心式微流控芯片任意位置的多组分高精度自动进样系统
基于增强型二次流的惯性聚焦芯片
一种基于模态局部化效应的三自由度弱耦合谐振式加速度计
一种弱耦合谐振式传感器的扰动位置确定方法
一种用于糖尿病高灵敏度检测的液滴微流控芯片及检测方法
基于微液滴增强吸光度效应的六价铬检测装置及方法
一种耐高压微型芯片式液相色谱
一种模态局部化传感器的线性化输出方法
一种基于微流控芯片的空间站用细胞样本自动预处理装置
芯片级MEMS旋转调制陀螺制备方法
面向离心微流控的CD式芯片装夹机构
单轴控制自动定位定量注入机构
芯片级旋转调制式MEMS硅微机械陀螺
一种手势及语音控制四旋翼飞行器方法
一种无重力条件下使用的采样装置及其接口
一种基于多层结构的俘能/储能一体化微纳电池
一种基于单细胞捕获实现细胞定位培养芯片及其使用及制备方法
一种基于模态局部化效应的弱耦合MEMS谐振式加速度计
一种SOI基微惯性传感器封装应力隔离方法
一种超高灵敏度的微机械谐振式静电计
面向精度设计的硅微机械陀螺系统参数获取方法
硅微机械陀螺快速热启动实现方法
一种基于热膨胀流的MEMS三轴陀螺及其加工方法
一种桥式结构的分割重组被动式微混合器
硅基MEMS阵列式推进器及其制备方法
一种柔性三维单细胞定位培养芯片及其可控制备方法
一种用于流式细胞仪的微流控芯片结构及其制作方法
一种基于MEMS传感器的航天器姿态测量方法
微机械加速度计的MASH结构sigma-delta闭环控制电路
微机械加速度计的3阶连续低通反馈型sigma-delta闭环控制电路
微机械陀螺检测模态8阶连续带通sigma-delta闭环控制电路
微机械加速度计的5阶连续低通谐振前馈型sigma-deltamodulator闭环控制电路
基于SOI硅片的微型半球谐振陀螺及其制备方法
微型半球谐振陀螺及其制备方法
一种悬空硅热敏电阻加工方法
基于扩张-收缩管微泵的射流转子陀螺
基于扩张-收缩管微泵的射流转子陀螺
基于新型合成射流微泵的射流转子陀螺
基于新型合成射流微泵的射流转子陀螺
一种镍热敏薄膜电阻加工方法
一种悬空热敏薄膜电阻的加工方法
微机械陀螺的双闭环控制电路
一种用于细胞分选的多分选区结构及其使用方法
微机械加速度计的高阶连续低通sigma-delta闭环控制电路
MEMS陀螺6阶连续带通sigma-delta闭环控制电路
微型固体化学推进器
一种基于PDMS的三维单细胞培养芯片及其可控制备方法
基于可变间距微柱阵列的细胞分选结构及其制作方法
一种基于聚二甲基硅氧烷的细胞分选结构
一种可限位锁止的静电驱动微夹持器
一种放大质量块运动速度的电容式微机械陀螺
一种电容式微机械陀螺
一种全对称杠杆放大电容式微机械陀螺
一种新型MEMS射流转子陀螺
基于SOI工艺的微型静电悬浮陀螺
一种基于双质量块的三轴微加速度计