科研专业方向
研究领域:
敏感元器件与传感器
研究方向:
微传感器、智能传感器及系统、MEMS、NEMS理论、技术与应用
研究领域:
敏感元器件与传感器
研究方向:
微传感器、智能传感器及系统、MEMS、NEMS理论、技术与应用
合作单位 | 合作论文数量 |
---|---|
南京电子器件研究所 | 4 |
兰州大学微电子研究所 | 3 |
北方工业大学信息工程学院微电子中心 | 3 |
兰州大学 | 2 |
北京大学微电子所 | 2 |
北方工业大学信息工程学院微电子学科 | 2 |
绍兴文理学院 | 1 |
绍兴文理学院微电子实验室 | 1 |
北京市现场总线技术与自动化重点实验室 | 1 |
北方工业大学现场总线技术与自动化北京市重点实验室 | 1 |
论文标题 | 基金名称 |
---|---|
硅-硅键合界面氧化层模型与杂质分布的模拟 | 国家863计划项目 |
硅-硅键合界面氧化层模型与杂质分布的模拟 | 国家杰出青年科学基金项目 |
本征氧化层对Si纳米板弹性模量的影响 | 国家重点基础研究发展规划资助项目 |
一种硅纳米梁负载-偏转特性的多尺度模型 | 国家重点基础研究发展计划资助项目 |
P型硅纳米板压阻特性的理论研究 | 国家重点基础研究发展规划 |
硅纳米梁的静态特性分析 | 国家重点基础研究发展计划资助 |
水分子吸附诱致的纳米悬臂梁的弯曲模型 | 国家重点基础研究发展计划 |
基于静电驱动NEMS混频器结构设计与分析 | 国家重点基础研究发展计划资助项目 |
一种新型纳机电硅谐振器的频率响应特性(英文) | The National High Technology Research and Development Program of China |
纳机电系统阻尼及噪声研究进展 | 国家杰出青年科学基金资助项目 |
温度对硅纳米薄膜杨氏模量的影响 | 国家重点基础研究计划 |
硅纳米板杨氏模量的尺度效应 | 国家重点基础研究发展计划 |
Si-Si直接键合的杂质分布 | 国家高技术研究发展计划 |
Si-Si直接键合的杂质分布 | 国家杰出青年科学基金 |
Si/Si直接键合界面热应力模型及模拟 | 国家863计划项目 |
Si/Si直接键合界面热应力模型及模拟 | 国家杰出青年科学基金资助项目 |
硅纳米梁振动基波频率的半连续体模型 | 国家重点基础研究发展计划资助项目 |
硅片键合强度测试系统研究 | 国家863计划资助项目 |
MEMS薄膜材料参数在线测试方法与技术 | 国家高技术研究发展计划资助项目 |
基于横向多晶硅二极管的CMOS兼容热风速计 | 江苏省高新技术资助项目 |
在国际期刊发表论文70余篇、国际会议论文150余篇;出版英文专著3章、中文著作7本。
一种新型纳机电硅谐振器的频率响应特性(英文)
MOSFET静电场传感器电场-电流特性的研究
一种新型固态静电传感器的设计与模拟
热致封装效应对MEMS固支梁谐振频率的影响
热致封装效应对MEMS器件谐振特性影响的单元库模型
封装级MEMS器件的广义节点分析法
P型硅纳米板压阻特性的理论研究
水分子吸附诱致的纳米悬臂梁的弯曲模型
基于静电驱动NEMS混频器结构设计与分析
RFMEMS开关吸合电压的分析
热电式微波功率传感器的优化设计
硅纳米梁振动基波频率的半连续体模型
一种微悬臂梁疲劳特性的检测方法(英文)
本征氧化层对Si纳米板弹性模量的影响
一种硅纳米梁负载-偏转特性的多尺度模型
温度对硅纳米薄膜杨氏模量的影响
硅纳米板杨氏模量的尺度效应
硅-硅键合界面氧化层模型与杂质分布的模拟
硅-硅键合界面氧化层模型与杂质分布的模拟
芯片粘接工艺对MEMS性能影响的单元库法模型
COB封装中热-机械耦合效应的研究
MEMS器件热致封装效应的解析建模研究
硅纳米梁的静态特性分析
Si-Si直接键合的杂质分布
元胞自动机方法模拟硅的各向异性腐蚀研究
硅各向异性腐蚀模拟的3-D连续CA模型研究
Si/Si直接键合界面热应力模型及模拟
一种新型MEMS微波功率传感器的理论模型与优化设计
电容式RFMEMS开关开关过程产生的电磁波模型和分析
MEMS电容式并联开关充放电产生的电磁干扰分析
X波段微带线定向耦合器的设计与模拟
MEMS薄膜材料参数在线测试方法与技术
MEMS薄膜磁学特性的在线测试结构
RF MEMS开关在开关瞬态时的电磁干扰
微加工悬臂梁在横向冲击下的响应分析
纳机械谐振器的非线性特性分析
RF螺旋电感参数的提取方法
MEMS微波功率传感器的研究与进展
纳米梁的动态特性研究
用3D动态元胞自动机模型模拟硅的各向异性腐蚀过程
RF等离子辅助热丝CVD法制备大面积β-SiC薄膜
硅各向异性腐蚀的原子级模拟
大功率硅-硅直接键合静电感应晶闸管的研制
硅-硅直接键合制造静电感应器件
硅/硅直接键合的界面应力
MEMS器件在冲击下的可靠性
纳机电系统阻尼及噪声研究进展
微加工射频可变电容的研究与进展
单晶硅各向异性湿法腐蚀机理的研究进展
RFMEMS电感的研究与进展
基于砷化镓衬底的RFMEMS膜开关
X波段MEMS膜开关的阻抗分析模型
硅各向异性腐蚀模型及其模拟进展
一种新型微机械锚
力学参数测量时由残余电荷导致的误差分析
各向异性腐蚀表面粗糙度的“应力模型”
MEMS领域中微结构机械参数在线测量方法的研究和进展
硅在KOH中各向异性腐蚀的物理模型
MEMS薄膜热导率测试结构
系统级模拟的MEMS器件宏模型
基于横向多晶硅二极管的CMOS兼容热风速计
硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统的建立
新型盐度检测仪
一种利用多频电容辨别路面干湿的传感器系统
硅片键合强度测试系统研究
宽量程MEMS风速风向传感器设计与制造关键技术及应用
高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用
高可靠性MEMS压力传感器设计与制造关键技术及应用
气象传感器设计理论、关键技术及其应用
硅微机械制造的工艺模型、在线测试结构及其关键技术与应用
道路交通气象检测传感器关键技术及其应用
多晶硅电热微执行器模型、制备与表征
硅微机械技工技术(著作)
微型半导体热执行器与压电传感器研究
真空微电子微波三极管的理论与实验研究
一种高灵敏度的微弱气体检测装置及其检测方法
一种基于类黑磷材料的太阳能电池及其制备方法
一种加热测温一体化的风速风向传感器
一种正面感风背面引线的膜式风速风向传感器及其制造方法
一种三阶PT对称微机械微扰敏感系统
一种PT对称微机械磁场传感器
一种PT对称微机械磁场传感器
一种三阶PT对称微机械微扰敏感系统
一种多谐振LC电路解耦方法
一种用于测量轴承应力大小的LC应变传感器及测量方法
一种异质结半导体光电探测器及其制备方法
一种用于微制造的多层薄膜残余应力和杨氏模量在线测试结构及在线提取方法
一种PT对称垂动微机电系统
SU-8胶紫外光背面光刻工艺的二维光强分布模拟方法
一种电-热-力耦合的V型热执行器的分析方法
一种远距离LC无源无线传感系统
一种工作频率自动匹配的远距离LC无源无线传感系统
无线无源传感器及无线无源传感方法
一种基于无源无线技术的高通量细胞检测系统
基于多层悬臂梁的薄膜材料横向压电系数测试方法
一种用于转动结构状态监测的多参数LC传感器
无线无源传感器及其制作方法
一种超宽量程风速仪及制造方法
一种超小型高灵敏度二维风速计及其制作方法
一种高灵敏硅二维风速计及其制作方法
一种LC传感系统
一种柔性无源无线湿度、压力集成传感器
一种压力传感器及其制备方法
一种半导体湿度传感器及其制备方法
基于谐振频率的双端固支梁力学参数测量方法及装置
多层复合薄膜结构的力学参数测量方法及装置
基于八边形热敏电阻结构的风速风向传感器及其制备方法
一种基于双层热电堆结构的风速风向传感器及检测方法
基于八边形热电堆结构的风速风向传感器及其制备方法
一种电容式三维风速风向传感器
一种电容式三维风速风向传感器
热损失型风速传感器及其制备方法和检测方法
热温差型风速传感器及其制备方法和检测方法
一种热温差型风速传感器及其制备方法和检测方法
电感悬臂梁无线无源流量传感器
一种集成式无源无线微机械开关及其制备方法
电感双端固支梁无线无源应力传感器
电感悬臂梁无线无源加速度传感器
电感双端固支梁无线无源加速度传感器
电感悬臂梁无线无源湿度传感器
电感悬臂梁无线无源温度传感器
一种实时监控空气滤芯受污染程度的无线传感器
一种高灵敏度的柔性无源无线压力传感器
一种基于雷达散射截面探测的无源无线湿度传感器
一种双层双端固支梁的力学参数测量方法及装置
一种双层双端固支梁的力学参数测量方法及装置
基于谐振频率的复合悬臂梁力学参数测量方法及装置
一种基于双检测模式的宽量程流量传感器及测量方法
一种智能双检测模式的风速风向传感器及测量方法
一种电磁式振动能量收集器及其制备方法
一种压电-电磁复合式振动能量收集器及其制备方法
一种电磁式振动能量收集器及其制备方法
一种压电-电磁复合式振动能量收集器及其制备方法
压电#电磁复合式振动能量收集器及其制备方法
一种电磁式振动能量收集器及其制备方法
电磁式振动能量收集器及其制备方法
一种电磁式振动能量收集器及其制备方法
电磁式振动能量收集器及其制备方法
一种电磁式振动能量收集器及其制备方法
一种多层电感无源无线LC温度传感器
一种电感式温度传感器及其制作方法
一种温湿度集成的无源无线传感器
一种三维异质集成TSV通孔电#热#力耦合建模方法及仿真方法
一种无源无线微机械开关
一种MEMS开关切换的无源无线多参数传感系统
一种无源无线微机械开关阵列控制系统
基于陶瓷封装的二维热式风速风向传感器及其制作方法
高灵敏硅二维热式风速计及其制备方法
一种热式风速传感器及其封装方法
一种高灵敏热式风速传感器及其封装方法
一种高灵敏电容式压力传感器及其制作方法
一种高灵敏度压阻式压力传感器及其制备方法
一种压力传感器及制备方法
一种带自检测装置的压阻式压力传感器及其制备方法
一种基于水凝胶的高分辨率LC式无源无线pH值传感器
一种基于热双层执行梁的LC式无源无线温度传感器
一种导电薄膜材料残余应力的在线测量方法及测量装置
一种基于圆片级封装的MEMS风速风向传感器结构及封装方法
一种MEMS微型固态锂离子电池及其制备方法
一种MEMS振动能量收集与存储的单片集成装置及其制备方法
一种监控和缓解癫痫症状的装置
一种多点式压力传感器无源无线测量电路
一种基于射频供电的双信道无源无线传感器系统
一种交流自加热式风速风向传感器及其测量方法
一种基于微机械耦合器和间接式功率传感器的风速计
一种基于微机械耦合器和直接式功率传感器的风速计
一种基于共面波导传输线的悬臂梁式风速风向传感器及其测量方法
一种交流自加热式风速风向传感器及其测量方法
一种具有零点校准功能的热式风速传感器结构及校准方法
一种无风洞虚拟热风速传感器测试装置
一种具有片上自标定功能的MEMS热式风速传感器
一种具有高线性度的电容式压力传感器及其制备方法
一种带自检测装置的压阻式压力传感器及其制备方法
一种带自检测装置的电容式压力传感器及其制备方法
一种电容式压力传感器及其制备方法