宽量程MEMS风速风向传感器设计与制造关键技术及应用

气象传感器设计理论、关键技术及其应用

道路交通气象检测传感器关键技术及其应用

真空微电子微波三极管的理论与实验研究

一种加热测温一体化的风速风向传感器

一种正面感风背面引线的膜式风速风向传感器及其制造方法

一种便于更换的坐便器微波感应结构

一种微带平面天线传感器的抗干扰保护装置

一种平面天线微波传感器的安装座

一种微带平面天线传感器的安装防护装置

一种带有人体自动感应功能的翻盖坐便器

一种平面天线微波传感器安装结构

一种超宽量程风速仪及制造方法

一种超小型高灵敏度二维风速计及其制作方法

一种高灵敏硅二维风速计及其制作方法

基于八边形热敏电阻结构的风速风向传感器及其制备方法

一种基于双层热电堆结构的风速风向传感器及检测方法

基于八边形热电堆结构的风速风向传感器及其制备方法

一种电容式三维风速风向传感器

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热损失型风速传感器及其制备方法和检测方法

热温差型风速传感器及其制备方法和检测方法

一种热温差型风速传感器及其制备方法和检测方法

一种可单面封装的双膜电容式压力传感器及制作方法

一种基于双检测模式的宽量程流量传感器及测量方法

一种智能双检测模式的风速风向传感器及测量方法

基于陶瓷封装的二维热式风速风向传感器及其制作方法

高灵敏硅二维热式风速计及其制备方法

一种热式风速传感器及其封装方法

一种高灵敏热式风速传感器及其封装方法

一种高灵敏电容式压力传感器及其制作方法

一种基于圆片级封装的MEMS风速风向传感器结构及封装方法

一种交流自加热式风速风向传感器及其测量方法

一种基于微机械耦合器和间接式功率传感器的风速计

一种基于微机械耦合器和直接式功率传感器的风速计

一种基于共面波导传输线的悬臂梁式风速风向传感器及其测量方法

一种交流自加热式风速风向传感器及其测量方法

一种具有零点校准功能的热式风速传感器结构及校准方法

一种无风洞虚拟热风速传感器测试装置

一种具有片上自标定功能的MEMS热式风速传感器

一种基于MEMS技术的三维风速风向传感器及其制备方法

基于衬底转移工艺的热式风速风向传感器及其封装方法

三维集成正面感风的热式风速风向传感器装置及封装方法

一种电容式微机械风速风向传感器

电容式微机械风速风向传感器

一种虚拟输入装置及方法

一种虚拟输入装置

一种无源无线电容式湿度传感器的制备方法

一种可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器

一种用于检测二维光点位置的传感器

一种基于碳纳米管阵列封装的热风速传感器

一种可自动零点补偿的热风速传感装置及测量风速的方法

一种风速风向传感器

一种基于热平衡的水平传感器

一种二维热膜风速风向传感器及其制备方法

一种易于封装的磁场传感器

一种易于封装的磁场传感器

基于各向异性导热衬底的热式风传感器及其制备方法

基于减薄工艺的热式风速风向传感器及其制备方法

基于各向异性导热衬底的热式风传感器

基于减薄工艺的热式风速风向传感器

微电子机械系统电容式相对湿度传感器

快速响应的微电子机械系统相对湿度传感器

微电子机械系统电容式相对湿度传感器

快速响应的微电子机械系统相对湿度传感器

基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器

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微机械气压传感器芯片的封装结构及其制备方法

微机械气压传感器芯片的封装结构

一种具有热隔离结构的热式风速风向传感器及其制备方法

基于陶瓷圆片级封装的集成风速风向传感器及其制备方法

基于金金键合工艺的热式风速风向传感器及其制备方法

基于阳极键合工艺的热式风速风向传感器及其制备方法

一种具有热隔离结构的热式风速风向传感器

基于金金键合工艺的热式风速风向传感器

一种与CMOS工艺兼容的气压传感器及其制备工艺

一种快速响应的CMOS相对湿度传感器

电容式相对湿度传感器

谐振式微机电系统磁场传感器及测量方法

基于微悬臂梁结构的介电伸缩系数测量方法

微机械二维风速风向传感器及其信号处理电路

一种微机电系统磁场传感器及测量方法

多层梁结构的电容式微机械温度传感器

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