一种面内面外二自由度位移同步测量方法及系统

基于波前零差干涉的高精度双轴激光水平仪及测量方法

一种基于干涉条纹解耦的垂向激光指向校正装置及方法

基于高速相机的单光束三自由度激光干涉仪

基于阵列式探测器的单光束三自由度零差激光干涉仪

基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪

一种粗精测尺差频调制与解调的相位激光测距装置与测距方法

一种基于粗精测尺差频调制与解调的协作式相位激光测距装置及其测距方法

一种基于单光源多频混合外差式激光绝对测距系统及测距方法

一种多频混合外差式干涉信号同步分离与同步测相系统及方法

一种基于双环形集成谐振腔的四光梳同步生成方法

基于双线阵相机的单光束三自由度激光干涉仪

零差激光干涉仪直流偏置误差修正方法及装置

基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪

基于巴俾涅补偿器的干涉仪非正交误差修正方法与装置

基于液晶移相器的激光干涉仪非正交误差修正方法及装置

基于激光管温度多点采集的高频率复现性激光稳频方法与装置

基于激光管环绕式测温与精准温度控制点的激光稳频方法与装置

基于激光管环绕式测温与精准温度控制点的激光稳频方法与装置

基于温度自感知柔性薄膜加热器的激光稳频方法与装置

基于激光管多点加热的高频率复现性的激光稳频方法与装置

单自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法

二自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法和六自由度干涉仪

相位生成载波反正切中载波相位延迟和伴生调幅消除方法

光纤法布里珀罗干涉仪非线性误差修正方法

光纤迈克尔逊干涉测振仪非线性误差修正方法

光纤法布里珀罗干涉测振仪非线性误差修正方法

相位生成载波微分交叉相乘载波延迟和伴生调幅消除方法

基于双通道正交锁相解调的光学非线性误差测量方法及装置

一种用于测量干涉镜组热漂移系数的测量系统和方法

单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置

基于螺旋相位板的零差干涉仪非线性误差修正方法与装置

单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置

一种高容差的二自由度外差光栅干涉测量方法及系统

中继式飞秒脉冲高精度位移探测方法

串联移频和三镜环形腔内色散补偿双频梳生成方法与装置

内色散补偿串联移频和四镜环形腔双频梳生成方法与装置

外色散补偿四镜环形腔和并联移频双频梳生成方法与装置

基于中继式飞秒脉冲的深空引力波探测装置

基于三周期性极化晶体的飞秒脉冲锁相中继方法及装置

基于双偏振分光镜合光的正交双频激光生成方法与装置

基于可变衰减器的光学非线性一阶误差消除方法

角位移单频激光干涉仪非线性误差修正方法及装置

干涉量分离单频激光干涉仪非线性误差修正方法及装置

干涉量分离激光干涉测振仪非线性误差修正方法及装置

成对三等分环-圆嵌套极板相向交错放置式倾角测量方法与装置

基于热电制冷和声光移频的横向塞曼激光锁频方法和装置

基于压电效应和声光移频的单纵模激光器互锁方法和装置

基于热电制冷和声光移频的单纵模激光器互锁方法和装置

基于热稳频和声光移频的纵向塞曼激光锁频方法和装置

基于热电制冷和声光移频的纵向塞曼激光锁频方法和装置

基于热稳频和声光移频的双纵模激光器互锁方法和装置

光刻机双频激光干涉仪垂向测量光路反射镜调整装置

混合外差式多频抗混叠激光测距装置与方法

超外差与外差结合式抗光学混叠激光测距装置与方法

高精度同步混合外差式相位激光测距装置与方法

基于可溯源同步多测尺的混合激光器测距装置与方法

同心共面四等分环-四等分圆嵌套极板倾角测量方法与装置

抗光学混叠的可溯源精测尺相位激光测距装置与方法

混合外差式可溯源精测尺He-Ne激光测距装置与方法

抗多频混叠的高精度同步测尺半导体激光测距装置与方法

抗光学混叠的多频激光测距装置与方法

可溯源超外差式精测尺混合激光器测距装置与方法

基于可溯源同步测尺的双纵模激光测距装置与方法

同心共面二等分环-二等分圆嵌套极板倾角测量方法与装置

同心共面三等分环-圆嵌套极板倾角测量方法与装置

基于压电效应和声光移频的双纵模激光器互锁方法和装置

基于热电制冷和声光移频的双纵模激光器互锁方法和装置

基于热稳频和声光移频的单纵模激光器互锁方法和装置

基于压电效应和声光移频的横向塞曼激光锁频方法和装置

基于热稳频和声光移频的横向塞曼激光锁频方法和装置

基于压电效应和声光移频的纵向塞曼激光锁频方法和装置

抗光学混叠的可溯源精测尺半导体激光测距装置与方法

基于可溯源同步测尺的混合双光源激光测距装置与方法

基于可溯源精测尺的半导体激光器测距装置与方法

基于高精度同步多测尺的半导体激光测距装置与方法

抗多频混叠的可溯源同步测尺双光源激光测距装置与方法

成对四等分环-圆嵌套极板相向交错放置式倾角测量方法与装置

基于三标准光轴气浴的线位移激光干涉仪校准方法与装置

双光轴补偿及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置

基于双标准光轴气浴的角位移激光干涉仪校准方法与装置

基于直角棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置

基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法与装置

基于三标准光轴的线位移激光干涉仪校准方法与装置

回位补偿式三光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置

形貌补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置

双光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置

基于双标准光轴气浴的线位移激光干涉仪校准方法与装置

回位补偿式双光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置

形貌补偿式四光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置

基于双标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法与装置

形貌补偿式双光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置

基于四标准光轴的线位移激光干涉仪校准方法与装置

基于四标准光轴气浴的线位移激光干涉仪校准方法与装置

回位补偿式双光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置

回位补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置

四光轴回位及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置

四光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置

回位补偿式四光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置

三光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置