科研专业方向
研究领域：
电工、微电子和光电子新材料制备与应用技术
研究方向：
微电子学与固体电子学：微电子机械系统设计、仿真与制造（Design, Simulation and Fabrication of MEMS）：微机械加速度传感器件、电热微驱动器；微纳系统器件集成与开发（Integration and Application of NEMS
丁教授
教授
上海上海市
科研重点分布
近年科研重点
2022
微电磁驱动器 微线圈 集成制造 卷积神经网络 预处理 球磨机 故障诊断 氢气敏感探头2023
微透镜阵列 SU-8 原位 化学机械抛光 垂直腔面发射激光器科研产出增长曲线
历年科研产出
学科论文分布
无线电电子学：54
电力工业：33
自动化技术：22
材料科学：19
工业通用技术及设备：14
仪器仪表工业：14
无机化工：13
电信技术：10
机械工业：8
金属学及金属工艺：5
外科学：4
物理学：4
航空航天科学与工程：4
有机化工：2
动力工程：2
计算机软件及计算机应用：2
生物学：2
生物医学工程：2
基础医学：1
急救医学：1
环境科学与资源利用：1
化学：1
武器工业与军事技术：1
汽车工业：1
总数:
177
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- 产学研合作
- 基金课题
- 荣誉&成就
- 科研成果
产学研合作
合作信息
| 合作单位 | 合作论文数量 |
|---|---|
| 纳米加工技术国家级重点实验室 | 10 |
| 纳米加工技术重点实验室 | 7 |
| 微米/纳米加工技术国家级重点实验室 | 5 |
| 纳米加工技术国家重点实验室 | 5 |
| 薄膜与微细技术教育部重点实验室 | 5 |
| 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 3 |
| 上海中航商用航空发动机制造有限责任公司 | 3 |
| 华东师范大学微电子电路与系统研究所 | 2 |
| 名古屋大学微纳系统工程系 | 2 |
| 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室 | 2 |
| 中国航发商用航空发动机有限责任公司 | 2 |
| 微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 | 1 |
| 中国工程物理研究院 | 1 |
| 上海杉达大学技术教育中心 | 1 |
| 上海卫星工程研究所 | 1 |
| 上海市烧伤研究所 | 1 |
| 美国加州大学伯克利分校伯克利传感器与执行器中心 | 1 |
| 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 | 1 |
| 上海飞机客户服务有限公司 | 1 |
| 西安机电信息技术研究所 | 1 |
| 淮海工业集团有限公司MEMS中心 | 1 |
| 华东师范大学电子科学技术系 | 1 |
| 哥伦比亚大学机械工程系 | 1 |
| 微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 | 1 |
| 薄膜与微细加工教育部重点实验室 | 1 |
| 华东师范大学信息科学技术学院 | 1 |
| 微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 | 1 |
| 淮海工业集团有限公司 | 1 |
| 纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 | 1 |
| 安徽大学物理与材料科学学院 | 1 |
| 纳米加工国家重点实验室 | 1 |
| 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所国际实验室 | 1 |
| 美国BioForce | 1 |
| 西安电子科技大学微电子研究所 | 1 |
| 华东理工大学高分子材料系 | 1 |
| 吉林大学汽车工程学院 | 1 |
| 复旦大学附属华山医院肾脏科 | 1 |
| 上海市曲阳医院肾脏科 | 1 |
| 纳米加工技术国家级重点实验室薄膜和微细技术教育部重点实验室 | 1 |
| 江南大学信息工程学院 | 1 |
| 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 | 1 |
| 中航商用航空发动机有限责任公司 | 1 |
| 上海工程技术大学电子电气工程学院 | 1 |
| 上海市宝山区中西医结合医院 | 1 |
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基金课题
| 论文标题 | 基金名称 |
|---|---|
| PDMS软模板制备与叶片曲表面软光刻工艺 | 中航集团航空发动机联合研发合作项目 |
| 柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压力性能的影响 | 国家自然科学基金资助项目 |
| BST铁电薄膜高频特性的仿真分析研究 | 中物院超精密加工技术重点实验室开放基金资助 |
| 可集成制造的平面型电磁直线作动器研究 | 国家自然科学基金项目 |
| Si-PI低温键合黏合剂的研制与性能测试 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 静电驱动柔性振膜的吸合特性研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 静电驱动振模微泵的理论分析 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 空间结构在真皮组织微观化重建中的作用研究 | 国家重点基础研究发展计划 |
| 真皮组织微观化重建的探索性研究题录 | 国家重点基础研究发展计划 |
| 黏着斑微操控在创伤和组织修复中的作用题录 | 国家973项目 |
| 高温ITO薄膜应变计制备及压阻性能 | 上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台项目 |
| 一种新型MEMS电磁继电器的研究 | 国家自然科学基金项目资助 |
| MEMS器件用叠层镍间结合强度的研究 | 教育部科技支撑项目 |
| MEMS惯性开关的原理及研究进展 | 国家重点研发计划 |
| 基于柔性掩膜的高可靠性玻璃喷砂微加工工艺 | 微米/纳米加工技术重点实验室基金资助项目 |
| 新型三线圈式滑油磨粒在线监测传感器 | 上海市非硅微纳制造服务平台资助项目 |
| 应用于电磁驱动器的非线性平面微弹簧及其集成制造工艺研究 | 国家自然科学基金项目 |
| 用于MEMS器件的键合工艺研究进展 | 国家自然科学基金项目 |
| 一种基于MEMS的主动式光纤连接器 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 新型复合结构电热微驱动器的研制 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| MEMS微电磁驱动器的分段磁路模型及实验研究 | 国家自然科学基金项目资助 |
| 碳纳米管修饰电极对焦化废水的降解性能研究 | 上海市国际科技合作基金项目 |
| 碳纳米管修饰电极对焦化废水的降解性能研究 | 上海市国际科技合作基金项目 |
| 一种集成型双稳态微电磁继电器工艺及动态性能的研究 | 国家自然科学基金 |
| 一种新型双稳态微机电系统电磁微继电器的研制 | 上海市科技发展基金 |
| 微型平面式气体火花开关的设计和制作 | 微米/纳米加工技术重点实验室基金项目 |
| 一种新型三维多方向敏感的非硅微机械惯性开关 | 十二五预先研究项目 |
| 硅通孔内铜电沉积填充机理研究进展（英文） | supported by the National Key Research and Development Program of China |
| LIGA/准LIGA技术微电铸工艺研究进展 | 国家863计划 |
| 一种植入玻璃表面的碳纳米管电极及其场发射性能研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 微机电系统惯性电学开关的设计与制作 | 国家863高技术研究发展计划资助项目 |
| 微弯曲面成型技术—多线成面技术 | 国防重点实验室基金项目 |
| 基于LabVIEW的继电器电阻连续自动测试系统 | 中国国家自然科学基金 |
| Su-8胶-金属复合材料电热微驱动器 | 国家自然科学基金 |
| 扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构 | 教育部科学技术研究资助项目 |
| 用于MEMS的叠层光刻胶牺牲层技术（英文） | 国家高技术研究发展计划资助 |
| 带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应分析 | 高等教育科技创新工程重大项目培育资金项目资助 |
| 一种新型MEMS微驱动器的设计与仿真分析 | 国家863计划资助项目 |
| 基于单轴微拉伸的TSV铜力学性能研究 | 科技部重大专项基金资助项目 |
| 硅通孔润湿性能影响因素的模拟仿真 | 科技部重大专项基金资助项目 |
| 一种闭环控制的错位型MEMS可调光衰减器 | 国家自然科学基金 |
| 新型RFMEMS开关的动态表征 | 国家863计划 |
| 基于非硅衬底的微机电系统惯性开关的研制 | 国家高技术研究发展计划 |
| 共面波导馈电蝶形开口振子缝隙天线 | 国家自然科学基金 |
| 叠层光刻胶牺牲层工艺研究 | 国家高技术研究发展计划 |
| 基于UV-LIGA技术的新型RFMEMS开关 | 信息产业部电科院预研资助项目 |
| 基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作 | 国家863计划资助项目 |
| 一种金属基聚合物电热微驱动器的设计与仿真 | 国家自然科学基金 |
| 微加工电化学沉积锌牺牲层工艺 | 教育部科学技术研究重大基金资助项目 |
| 溅射工艺对LaNiO3薄膜结构和电性能的影响 | 国家自然科学基金资助项目60701012)上海市AM基金资助项目 |
| 毫米波缝隙天线的三维非硅微加工制造技术 | 高等学校科技创新工程重大项目培育基金资助项目 |
| 适用于微加工工艺的纳米多孔铜制备方法 | 国家级重点实验室基金资助项目 |
| MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展 | 高等学校科技创新工程重大计划资助项目 |
| 植布法制备镍基碳纳米管场发射阴极及其性能研究 | 国家自然科学基金纳米研究计划资助项目 |
| 一种微尺度有序增强复合材料的制备及其力学性能表征 | 教育部创新工程重大项目培育资金资助项目 |
| 位错型微机械可变光衰减器的研究 | 国家自然科学基金 |
| MEMS微器件用CoNiMnP永磁体薄膜的工艺制备和性能研究 | 国家自然科学基金 |
| CPW馈电缝隙耦合蝶形毫米波贴片天线 | 国家部级基金国家自然科学基金 |
| 基于MEMS技术的共面耦合式圆极化微带天线的设计与仿真 | 教育部基础研究项目 |
| 新型宽带圆极化毫米波平面缝隙天线 | 国防预研基金 |
| SU-8胶模去除技术 | 武器装备预研基金资助项目 |
| 玻璃衬底上RF磁控溅射CIGS薄膜的研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| MEMS器件气密性封装的低温共晶键合工艺研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 1×16微机电系统光纤连接器阵列的研制 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备 | 国家863计划资助项目 |
| 一种非硅微加工技术制作的电热微驱动器 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 对流—扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响 | 上海市科委科研计划资助项目 |
| 水平与垂直流动对微电铸镀层均匀性的影响 | 上海市科委科研计划资助项目 |
| 锌/碳纳米管复合电沉积薄膜性能研究 | 上海市科委纳米专项基金 |
| 锌基碳纳米管复合材料的界面特性及增强机理 | 国家863计划 |
| Si衬底上RF磁控溅射MgO薄膜的研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 基于Sn/Bi合金的低温气密性封装工艺研究 | 国家自然科学基金项目 |
| 用于MEMS惯性开关的微弹簧有限元动力学分析 | 国家863资助项目 |
| 不同基底上Ni微结构镀层结合强度的研究 | 上海市科委科研计划资助项目 |
| 基于SU-8胶的新型被动式微型阀 | 教育部创新基金资助项目 |
| 基于微型惯性电学开关的加速度阈值检测系统 | 教育部预研重点项目 |
| 基于MEMS工艺的碳纳米管（碳纳米纤维）铜微异型触点 | 上海市纳米专项基金资助 |
| 超声振荡辅助制备铜基碳纳米管复合电镀层工艺 | 教育部科学技术研究重大项目 |
| Ag基碳纳米管（碳纳米纤维）复合电镀 | 上海市纳米专项资助项目 |
| 汽车用钢板纳米晶镀锌层在氯化钠溶液中的腐蚀机理 | 上海市科委科研计划项目 |
| 单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成 | 国家863高技术研究发展计划资助项目 |
| 一种新型叉指式共面波导的设计与制作 | 国防基础科研项目 |
| 通过可动触点延长接触时间的新型微冲击开关 | 国家自然科学基金 |
| 微拉伸系统中微弹簧力学传感器的研究 | 国家高技术研究发展计划 |
| 一种用于测试坡莫合金薄膜机械性能的拉伸模型 | 博士后科学基金资助 |
| 一种MEMS薄膜材料的力学性能测试方法 | 中国博士后科学基金资助项目 |
| MEMS中Ni-W合金薄膜力学性能的研究 | 国家863计划资助项目 |
| 微器件用Ni-W合金薄膜热稳定性的研究 | 国家高技术研究发展计划 |
| UV-LIGA镍薄膜材料的力学性能测试与分析 | 国家高技术研究发展计划 |
| 铁硅铝/锰锌铁氧体复合软磁薄膜成型工艺及磁性能研究 | 上海市科技发展基金资助项目 |
| 适于MEMS器件的低应力Ni-W纳米晶薄膜的制备 | 国家重点实验室基金资助项目 |
| 一种用于微拉伸系统的MEMS弹簧设计与制作 | 国家高技术研究发展计划 |
| MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟 | 国家高技术研究发展计划 |
| MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟 | 2006AA04Z308） |
| 基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真 | 国家863资助项目 |
| 电化学选择性刻蚀Cu/Ni牺牲层技术的研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| LIGA技术微电铸镍的电化学研究 | 国家8 63计划 |
| 生物芯片高效点样微悬臂梁探针的微细加工 | 上海市纳米专项基金资助项目 |
| MEMS微电磁驱动器磨损对光开关性能的影响分析 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 新型MEMS摆动式微电磁驱动器研制 | 中国博士后科学基金资助项目 |
| 发展中的RFMEMS开关技术 | 信息产业部微电子技术项目 |
| MEMS中的牺牲层技术 | 国家高技术研究发展计划 |
| 一种快速响应双稳态热执行器的结构设计 | 国家高技术研究发展计划 |
| 电沉积纳米镀锌层的机理研究 | 上海市科学技术发展基金纳米专项资助项目 |
| LIGA相关技术及应用 | 信息产业部微电子技术项目 |
| 电镀锌的纳米改性研究 | 上海市科学技术发展基金资助项目 |
| 微加工厚光刻胶掩膜电镀工艺研究 | 国家高技术研究发展计划 |
| 有限元优化技术在散热器结构设计中的应用 | 吉林省自然科学基金项目—管带式散热器动态传热分析及最优结构参数的确定项目资助 |
| 微型机电继电器研究进展 | 国家高技术研究发展计划 |
| CVD金刚石薄膜的微机械加工技术研究进展 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 有机玻璃的反应离子深刻蚀 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 基于MEMS技术的射频移相器 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 狗肾脏细胞在微电子机械系统人工膜上生长的初步观察题录 | 国家自然科学基金 |
| PMMA的反应离子深刻蚀 | 国家自然科学基金 |
| 提高微结构表面在镀液中的润湿性 | 国家重点实验室基金资助项目 |
| 反应离子刻蚀PMMA的各向异性刻蚀研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 商品有机玻璃片微结构的深刻蚀研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 一种基于MEMS技术的可变光衰减器 | 上海市光科技专项行动计划资助项目 |
| 用SU-8胶制高深宽比微结构的试验研究 | 中国博士后基金资助 |
| 微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究 | 国家重点基础研究发展规划 |
| 微桥结构铜膜杨氏模量和残余应力研究 | 国家重点基础研究发展规划 |
| 微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究 | 国家重点基础研究发展规划 |
| 多层复杂结构准LIGA一体化加工工艺的研究 | 国家863计划资助项目 |
| 汽车钢板纳米镀锌的研究 | 上海市科学技术发展基金纳米专项资助项目 |
| 共面波导金属条带展宽新公式 | 电科院预研课题 |
| 共面波导有限金属厚度效应的研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 高温复合多层膜结构传感器的热机械可靠性 | 国家重大专项 |
| 设计和工艺参数对声表面波器件性能的影响 | 国家自然科学基金资助项目 |
| MEMS高温温度传感器的研制与测量精度研究 | 中国航空发动机集团商用发动机有限责任公司的大力支持和资助下完成的 |
| 140GHz带状注弯折波导SU-8工艺与传输特性（英文） | supported by the Hi-Tech Research and Development Program of China |
| 微型人造血管壁面特征对血液流动的影响 | 上海市科委项目 |
| 一种新型微机电系统共面波导传输线设计与数值分析 | 信息产业部电子科学研究院预研项目 |
| 电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计 | 国家高技术研究发展计划 |
| RF磁控溅射制备钛酸锶钡BST纳米薄膜 | 上海市科委基金资助项目国家自然科学基金资助项目 |
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荣誉&成就
"国家技术发明奖获得者" 2008年
科研成果
- 期刊论文
- 技术成果
- 专利
光刻与化学机械抛光技术原位集成制备SU-8微透镜阵列
可集成制造的平面型电磁直线作动器研究
基于CNN和预处理机制的球磨机故障诊断方法
基于电桥式氢气敏感探头的温控系统设计
硅通孔内铜电沉积填充机理研究进展（英文）
Pt/PtRh薄膜热电偶的动态性能研究
MEMS惯性开关的原理及研究进展
高温ITO薄膜应变计制备及压阻性能
应用于电磁驱动器的非线性平面微弹簧及其集成制造工艺研究
玻璃纤维增强SU-8胶技术
MEMS薄膜热流传感器研制
微型人造血管壁面特征对血液流动的影响
SiC微加工工艺及其在高温电容压力传感器中的应用研究进展
航空发动机涡轮叶片原位集成高温MEMS传感器的研制
MEMS原位集成传感器振动冲击试验研究
一种植入玻璃表面的碳纳米管电极及其场发射性能研究
设计和工艺参数对声表面波器件性能的影响
MEMS高温温度传感器的研制与测量精度研究
陶瓷薄膜热电偶研究进展
PDMS软模板制备与叶片曲表面软光刻工艺
BST铁电薄膜高频特性的仿真分析研究
MEMS器件用叠层镍间结合强度的研究
高温薄膜传感器制备与性能研究
静电驱动柔性振膜的吸合特性研究
新型三线圈式滑油磨粒在线监测传感器
高温复合多层膜结构传感器的热机械可靠性
140GHz带状注弯折波导SU-8工艺与传输特性（英文）
柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压力性能的影响
硅通孔润湿性能影响因素的模拟仿真
适用于微加工工艺的纳米多孔铜制备方法
铁硅铝/锰锌铁氧体复合软磁薄膜成型工艺及磁性能研究
静电驱动振模微泵的理论分析
一种新型三维多方向敏感的非硅微机械惯性开关
硅通孔润湿性能影响因素的模拟仿真
基于SU-8胶的新型被动式微型阀
Si-PI低温键合黏合剂的研制与性能测试
基于柔性掩膜的高可靠性玻璃喷砂微加工工艺
微型平面式气体火花开关的设计和制作
基于LabVIEW的继电器电阻连续自动测试系统
一种用于硅通孔的阻挡层和种子层一体化制备工艺研究
基于单轴微拉伸的TSV铜力学性能研究
不同基底上Ni微结构镀层结合强度的研究
基于微型惯性电学开关的加速度阈值检测系统
碳纳米管修饰电极对焦化废水的降解性能研究
MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展
植布法制备镍基碳纳米管场发射阴极及其性能研究
一种微尺度有序增强复合材料的制备及其力学性能表征
应用于等离子体显示器的铝电极及其介质层制备研究
CIGS太阳能电池中薄膜材料电阻率的研究
碳纳米管修饰电极的制备及其电化学敏感性研究
水平与垂直流动对微电铸镀层均匀性的影响
单轴微拉伸法对TSV互连铜的力学性能的研究
汽车用钢板纳米晶镀锌层在氯化钠溶液中的腐蚀机理
一种集成型双稳态微电磁继电器工艺及动态性能的研究
带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应分析
柔顺双稳态机构的研究现状与进展
一种金属基聚合物电热微驱动器的设计与仿真
毫米波缝隙天线的三维非硅微加工制造技术
玻璃衬底上RF磁控溅射CIGS薄膜的研究
对流—扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响
Si衬底上RF磁控溅射MgO薄膜的研究
单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成
X波段移相器中低弹性系数RF-MEMS开关的研究
UV-LIGA镍薄膜材料的力学性能测试与分析
狗肾脏细胞在微电子机械系统人工膜上生长的初步观察题录
提高微结构表面在镀液中的润湿性
空间结构在真皮组织微观化重建中的作用研究
真皮组织微观化重建的探索性研究题录
真皮组织微观化重建的探索性研究
黏着斑微操控在创伤和组织修复中的作用题录
一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究
基于非硅衬底的微机电系统惯性开关的研制
微结构电铸过程分析与模拟
新型宽带圆极化毫米波平面缝隙天线
基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备
一种非硅微加工技术制作的电热微驱动器
通过可动触点延长接触时间的新型微冲击开关
微拉伸系统中微弹簧力学传感器的研究
MEMS中Ni-W合金薄膜力学性能的研究
一种新型MEMS电磁继电器的研究
一种基于MEMS的主动式光纤连接器
新型复合结构电热微驱动器的研制
MEMS微电磁驱动器的分段磁路模型及实验研究
微机电系统惯性电学开关的设计与制作
Su-8胶-金属复合材料电热微驱动器
基于Matlab的无弧分断设计与仿真
溅射工艺对LaNiO3薄膜结构和电性能的影响
基于MEMS技术的共面耦合式圆极化微带天线的设计与仿真
用于MEMS惯性开关的微弹簧有限元动力学分析
微器件用Ni-W合金薄膜热稳定性的研究
一种用于微拉伸系统的MEMS弹簧设计与制作
MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟
基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真
碳纳米管复合电沉积镍基薄膜材料研究
真皮模板单位在创伤和组织修复中作用
新型RFMEMS开关的动态表征
共面波导馈电蝶形开口振子缝隙天线
基于UV-LIGA技术的新型RFMEMS开关
电化学沉积Cu牺牲层工艺用于制备面外运动电热微驱动器
基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作
基于多元兼容集成制造技术的MEMS传感与驱动器件
基于跨尺度集成制造的金属基微纳器件
非硅MEMS技术及其应用
纳米超黑空心金属粉体的工业制备与应用
非硅MEMS技术及其应用研究
用于信息安全的MEMS强链
汽车工业用镀锌钢板的纳米改性
基于微电磁驱动器的MEMS光开关研制
直径1mm电磁型微电机
高密度水平薄膜磁盘
一种SU-8微透镜阵列的光刻-抛光直接成型制造方法
一种高深宽比三维银基微结构的电化学制备方法
复合柔性衬底及其制作方法
一种集成制造的非线性级联多自由度振动能量采集器
一种集成制造的非线性级联多自由度振动能量采集器
自供能MEMS惯性开关
阈值可调的MEMS惯性开关
一种单一阀门控制和驱动的微泵
一种单一阀门控制和驱动的微泵
一种基于离散型接触结构的柔性压力传感器及其制备方法
一种超低功耗中低温实心微热平台及其制作方法
一种基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构及其制作方法
一种多维度网状混合微通道流体散热器
一种多维度网状混合微通道流体散热器
一种柔性高灵敏度薄膜热电堆型热流传感器及制备方法
一种结构刚度可定制的微作动器
一种结构刚度可定制的微作动器
一种集成制造的磁性反转双稳态振动能量采集器
一种集成制造的磁性反转双稳态振动能量采集器
一种高灵敏度微型氢气传感器及其制备方法
一种高灵敏度微型氢气传感器及其制备方法
一种表面贴装用的TGV集成垂直互连结构及其制作方法
一种堆叠型微通道散热装置及其制作方法
一种堆叠型微通道散热装置及其制作方法
一种微通道散热器及其制作方法
一种电磁驱动双稳态光开关
一种电磁驱动双稳态光开关
一种在升温模式下工作的电阻型金属薄膜氢气传感器
一种操纵微流体的微泵
一种操纵微流体的微泵
一种提高TSV热机械可靠性的复合结构及其制造方法
有序掺杂纳米材料强化热导率复合材料及制备方法
一种陶瓷转接板结构及其制造方法
一种陶瓷转接板结构及其制造方法
基于MEMS技术的芯片集成沸腾强化换热结构及其制备方法
基于MEMS技术的芯片集成沸腾强化换热结构及其制备方法
一种新型多功能传感器芯片及其制备方法
一种新型多功能传感器芯片及其制备方法
一种大可控行程微作动器
一种大可控行程微作动器
一种基于光刻和电镀实现超精细封装引线的方法
一种基于光刻和电镀实现超精细封装引线的方法
一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关
一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关
一种复合保护层的高温薄膜应变计及其制备方法
一种复合保护层的高温薄膜应变计及其制备方法
一种具有柔性阵列触点的静电锁定惯性开关
一种具有柔性阵列触点的静电锁定惯性开关
采用啮合微结构的金属聚合物复合材料转接板及制备方法
一种基于MEMS微针的微创采样/注射装置
基于MEMS技术的集成微热管散热器
基于MEMS技术的集成微热管散热器
基于纳米氮化铝/聚酰亚胺复合材料转接板及其制备方法
一种高效电镀填充硅基TSV的方法
一种高温同步补偿薄膜应变计及其制备方法
一种高温同步补偿薄膜应变计及其制备方法
一种高温自补偿多层复合薄膜应变计及其制备方法
一种薄膜热电偶的高温动态测试系统及方法
一种静电锁定垂直敏感的微机械惯性开关
瞬态温度和热流密度联测传感器及其制备方法
基于聚合物衬底的单片集成温湿压柔性传感器及制备方法
基于湿敏软管的集成温湿压柔性传感器及其制备方法
基于湿敏软管的集成温湿压柔性传感器及其制备方法
用于防散热工质泄漏及芯片导线穿越的微通道流体散热器
一种基于MEMS微结构结合力强化的涂层制备方法
基于双线圈的微型电涡流传感器
图形化平面磁芯双层平面螺旋结构薄膜微电感及制备方法
基于MEMS微加工平面线圈的无线充电装置及其制备方法
一种空心金属微针及其批量制备方法
一种高效制备硅转接板的方法
基于AlN改性聚合物复合介质的TSV再分布层制备方法
一种用于曲面图形化的柔性掩膜板制备方法
碳化硅晶须/聚合物复合材料转接板及制备方法
氧化石墨烯/电泳漆复合涂层及其电泳沉积制备方法
一种电镀填充硅基TSV转接板的方法
一种利用磁通转向提高发电效率的微型振动能量采集装置
一种双磁体单光纤内窥镜扫描探头及其制备方法
一种大扫描角单光纤内窥镜扫描探头及其制备方法
一种紧约束型水平敏感的微机械惯性开关
利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法
利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法
一种高温合金表面高温绝缘涂层的制备方法
低成本图形化厚银膜的制备方法
一种固态绝缘介质脉冲功率开关及其制备方法
基于铁硅铝软磁材料的复合软磁材料薄膜及其制备方法
一种3D-TSV原位拉伸试样及其制备方法
一种单光纤内窥镜扫描探头及其制备方法
一种万向振动阈值传感器及其3D打印制备方法
一种能提升智能手表续航能力的表带
具有3D结构的功能复合型空气净化滤芯
一种自加热微流道桥接式纳电极传感器及其制备方法
微型化集成的感应式滑油磨粒在线监测传感器
用于3D-TSV铜互连材料力学性能测试的原位拉伸试样
用于功率电子器件散热的微通道散热器
碳纳米管/碳纳米纤维植入玻璃表面的方法
用纳微柔性阵列实现接触时间延长的多向振动阈值传感器
铜互连微柱力学性能原位压缩试样及其制备方法
基于碳纳米管增强的聚合物复合材料转接板及其制备方法
基于水玻璃-陶瓷复合介质的TSV封装再分布层制备方法
一种冰层结合强度的测试方法
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