科研专业方向
研究领域：
机器人
研究方向：
电子科学与技术；微惯性(微陀螺、微加速度计等)、微仿生机器人（仿鸟/仿昆微飞行机器人等）、微流控生化芯片、MEMS流体壁面应力检测与控制、微安全保证等微纳光机电技术及其相关的建模
张教授
副教授
上海上海市
科研重点分布
近年科研重点
2020
微型扑翼飞行器 实时电子稳像 卡尔曼滤波 实时人像识别 YOLOv3 MAV 扑翼机构 翅膀运动学2021
微型扑翼飞行器 空气动力学 列文伯格-马夸尔特算法 最佳几何攻角科研产出增长曲线
历年科研产出
学科论文分布
航空航天科学与工程：49
自动化技术：36
无线电电子学：23
计算机软件及计算机应用：13
仪器仪表工业：11
电信技术：8
机械工业：7
数学：5
物理学：4
宏观经济管理与可持续发展：2
互联网技术：2
计算机硬件技术：2
电力工业：2
金属学及金属工艺：1
非线性科学与系统科学：1
船舶工业：1
核科学技术：1
轻工业手工业：1
总数:
152
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- 产学研合作
- 基金课题
- 荣誉&成就
- 科研成果
产学研合作
合作信息
| 合作单位 | 合作论文数量 |
|---|---|
| 纳米加工技术国家级重点实验室 | 10 |
| 上海航天控制技术研究所 | 8 |
| 微米/纳米加工技术国家级重点实验室 | 6 |
| 薄膜与微细技术教育部重点实验室 | 5 |
| 纳米加工技术国家重点实验室 | 5 |
| 上海航天控制技术研究所惯性工程技术研究中心 | 4 |
| 广东肇庆学院电子信息工程系 | 4 |
| 同济大学经济管理学院 | 3 |
| 纳米加工技术重点实验室 | 3 |
| 微米/纳米加工技术国家重点实验室 | 3 |
| 中国科学院沈阳自动化研究所 | 3 |
| 微纳科学技术研究院 | 2 |
| 中国航天科技集团第九研究院13所 | 2 |
| 上海市北斗导航与位置服务重点实验室 | 2 |
| 纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室 | 2 |
| 中国科学技术大学 | 1 |
| 山西大学 | 1 |
| 中国科学院北京高能物理研究所 | 1 |
| 同济大学经济与管理学院 | 1 |
| 解放军后勤工程学院军事供油系 | 1 |
| 重庆大学机械工程学院 | 1 |
| 纳米加工技术国家级重点实验室微纳科学技术研究院 | 1 |
| 纳米加工技术重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室电子信息与电气工程学院微纳电子学系 | 1 |
| 中国微米纳米技术学会 | 1 |
| 上海市惯性技术学会 | 1 |
| 重庆大学 | 1 |
| 中国仪表仪器学会微纳器件与系统分会 | 1 |
| 重庆惯性技术学会 | 1 |
| 重庆半导体行业协会 | 1 |
| 东南大学 | 1 |
| 中国仪器仪表行业协会传感器分会 | 1 |
| 中船集团公司76研究所 | 1 |
| 肇庆学院电子信息工程系 | 1 |
| 微/纳加工技术国家级重点实验室 | 1 |
| 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室 | 1 |
| 微米/纳米加工技术重点实验室 | 1 |
| 广东肇庆学院电子信息与机电工程学院 | 1 |
| 纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 | 1 |
| 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室 | 1 |
| 中国科学院高能物理研究所同步辐射室 | 1 |
| 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 1 |
| 华东师范大学物理与材料科学学院 | 1 |
| 微纳电子学系 | 1 |
| 微米纳米加工技术国家级重点实验室 | 1 |
| 中国科学院高能物理研究所 | 1 |
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基金课题
| 论文标题 | 基金名称 |
|---|---|
| 基于MEMS＆FPGA的USB移动硬盘加解密系统 | 国家863计划 |
| 动态被动阀微泵的设计优化和制造 | 中国高等教育博士点基金资助项目 |
| 微3K-2型行星齿轮减速器中微齿轮啮合模型和参数计算 | 国家九五重点科技攻关项目 |
| 模数≤0.06mm的微行星齿轮减速器的CAD/CAM技术 | 国家九五重点科技攻关项目 |
| 应用于微型扑翼飞行器的实时视觉系统设计 | 教育部基金项目 |
| 柔性微热剪切应力传感器阵列 | 基金 |
| 仿昆扑翼微飞行器中高效传动铰链的研究 | 教育部新世纪优秀人才支持计划 |
| 基于聚酰亚胺基底的热剪切应力传感器设计 | 装备预研基金资助项目 |
| 超微仿生扑翼飞行器压电双晶驱动器仿真与优化 | 教育部新世纪优秀人才支持计划项目 |
| 微型扑翼飞行器诱导角与几何攻角的研究 | 教育部基金项目 |
| 柔性膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺 | 教育部博士点基金 |
| 基于MEMS传感器的微飞行器控制器设计 | 预研项目 |
| 用于迫弹速度测量的柔性MEMS流速传感器仿真 | 国家级重点实验室基金项目 |
| 静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统的研究 | 武器设备预研基金资助 |
| 静电悬浮转子微陀螺高努森数下的空气阻尼力矩 | 国家高技术研究发展计划 |
| 压电型微固体模态陀螺的相位差检测 | 国家自然科学基金资助 |
| 轮腿式微型机器人系统研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 基于LabVIEW的PCR芯片温度控制系统 | 国家973计划资助项目 |
| 压电微固体模态陀螺的安装技术 | 教育部支撑项目 |
| 磁悬浮转子微陀螺虚拟仪器测试系统 | 国家863计划 |
| 基于DSP和DDS技术相位及频率严格可调的多路同步信号发生器 | 自然科学基金项目 |
| 基于DSP的静电悬浮微陀螺模拟伺服系统的研究 | 教育部博士点新教师基金 |
| 微密码锁电脑安全认证的软件系统 | 国家863高技术研究发展计划资助项目 |
| FPGA控制MEMS强链的移动硬盘加密设计 | 国家高技术研究发展计划 |
| 基于MEMS强链的移动硬盘加密系统设计和FPGA实现 | 国家863计划项目 |
| MEMS强链在硬盘加密系统中的应用研究 | 国家863高技术研究发展计划基金项目 |
| 基于MEMS技术的扑翼式微飞行器的研究 | 国家自然科学基金 |
| 曲柄摇杆扑翼机构的联合仿真及优化设计 | 基金:国家自然科学基金 |
| 静电悬浮转子微陀螺宏模型的提取和分析 | 武器设备预研基金资助项目 |
| 摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺 | 教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目 |
| 静电悬浮转子微陀螺再平衡回路设计 | 国防科技预研基金项目 |
| 模糊控制在静电悬浮转子微陀螺起支中的应用 | 武器设备预研基金 |
| 基于FPGA驱动微陀螺旋转的移相电路 | 国家自然科学基金 |
| 静电悬浮转子微陀螺微位移数字化电容检测通道设计 | 国家十一五预研基金 |
| 静电悬浮转子微陀螺微位移数字化电容检测通道设计 | 武器装备预研基金 |
| 基于MEMS技术的SU-8仿昆虫微扑翼飞行器设计及制作 | 国家863计划资助项目 |
| 基于ARM和FPGA的微加速度计数据采集系统设计 | 国家863计划资助项目 |
| 静电悬浮微陀螺多路同步DDS信号发生器设计 | 国防科技重点实验室基金 |
| MEMS微陀螺仪研究进展 | 上海交通大学SMC优秀青年学者计划 |
| 基于聚酰亚胺基底的热线式剪切应力传感器 | 教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目 |
| PCR温度控制技术的研究进展 | 国防预研基金资助项目 |
| SU-8胶模去除技术 | 武器装备预研基金资助项目 |
| Pyrex玻璃金属化凹坑的湿法腐蚀 | 武器装备预研基金 |
| 磁悬浮转子微陀螺电容结构设计 | 国家863计划资助项目 |
| 悬浮转子式微陀螺技术关键、创新设计和最新进展 | 国家自然科学基金 |
| 扑翼微飞行器飞行时的数值模拟与分析(英文) | 国家自然科学基金 |
| 反干涉齿轮集微机电系统密码锁鉴码问题 | 国家高技术发展计划 |
| 基于MEMS技术的无线USB鼠标研究 | 教育部科学技术研究重大项目 |
| MEMS流体陀螺的研究进展 | 国家自然科学基金 |
| 集成电极的PDMS-玻璃微流控芯片的制备 | 国家重点基础研究发展计划 |
| 石英微机械陀螺的研究进展 | 教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目 |
| 基于厚度剪切振动的压电圆盘微陀螺的制作和分析 | 教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目 |
| 基于DSP高速外扩FLASH的高精度数据采集系统 | 国家自然科学基金项目 |
| 具有自检自标定功能的高负载电容式金属微加速度计的研究 | 国家级重点实验室基金项目 |
| 磁悬浮转子微陀螺的电容检测系统分析和实现 | 国家863计划项目 |
| 基于DSP的静电悬浮转子微陀螺测控系统 | 国家自然科学基金资助 |
| 基于DSP的悬浮转子微陀螺数字幅度解调 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 基于Sigma-Delta技术的差分电容检测电路设计 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 基于科氏加速度的微陀螺 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 双定子静电微电机控制系统的信号检测研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 静电悬浮转子微陀螺信号发生电路有源带通滤波器设计 | 国家自然科学基金资助 |
| 抗磁悬浮的原理、特点和应用 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 基于加速度采集系统的无线输入设备的研究 | 教育部科学技术研究重大基金资助项目 |
| 基于MEMS强链和双FPGA的硬盘加密系统 | 国家863高技术研究发展计划基金项目 |
| 基于MEMS强链和FPGA的物理认证系统 | 申请人:张卫平 |
| 基于MEMS强链和FPGA的物理认证系统 | 重大资金支持:国家863项目 |
| 基于MEMS强链和FPGA的物理认证系统 | 项目名称:基于MEMS强链的硬盘物理认证和加密技术 |
| 基于MEMS强链和FPGA的物理认证系统 | 基金颁发单位:国家科技部 |
| 基于ARM平台的MEMS输入设备的固件设计 | 基金申请人:张卫平 |
| 基于ARM平台的MEMS输入设备的固件设计 | 项目名称:毫米尺度惯性级可控势能阱永磁转子自稳悬浮新概念MEMS微陀螺的研究 |
| 基于ARM平台的MEMS输入设备的固件设计 | 基金颁发部门:国家自然科学基金委 |
| 静电悬浮转子微陀螺及其关键技术 | 国家自然科学基金 |
| 静电悬浮微陀螺的压膜阻尼特性 | 国防预研基金项目 |
| 一种新型玻璃基底可用于微陀螺的反磁悬浮结构的设计与制造 | 武器设备预研基金资助 |
| 磁悬浮转子微陀螺及其悬浮力与稳定性的分析 | 上海市科委2002年重大项目863计划项目 |
| 磁悬浮转子微陀螺中转子微加工方法的研究 | 上海市科委MEMS重大专项以及国家 863资助项目 |
| MEMS微电机综述 | 武器设备预研基金项目 |
| 温度控制的PCR-CE微流控芯片的设计与制作 | 国家973计划资助项目 |
| 磁悬浮转子微陀螺悬浮线圈的结构设计 | 国家高技术研究发展计划 |
| 微机械密码锁鉴码机构的UQS机理研究及其工艺实现 | 国家863计划项目 |
| 磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究 | 863计划 |
| 果蝇悬飞翅拍动力学问题的建模和数值求解 | 教育部新世纪优秀人才支持计划项目 |
| 基于MATLAB的扑翼飞行器三维重构算法 | 教育部新世纪优秀人才支持计划 |
| 基于MATLAB的扑翼飞行器三维重构算法 | 教育部支撑项目 |
| 仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的性能参数分析 | 教育部新世纪优秀人才支持计划 |
| 仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的性能参数分析 | 国防项目 |
| 仿蜂鸟微飞行器扑翼机构运动学、升力及Clap-fling机制研究 | 教育部基金资助项目 |
| 仿生蝴蝶飞行器设计分析 | 航空基金 |
| 仿生蝴蝶飞行器设计分析 | 2013ZC57003）教育部支撑项目 |
| 仿生蝴蝶飞行器设计分析 | 9140A26020313JW03371 |
| 仿生蝴蝶飞行器设计分析 | 9140A26020414JW03412）上海市平台项目 |
| 压电式微固体模态谐振器电荷放大器负载效应的研究 | 教育部支撑项目 |
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荣誉&成就
"上海交通大学SMC优秀青年教师奖" 2008年
科研成果
- 期刊论文
- 技术成果
- 专利
微谐振陀螺仪从半球到平面的演变
前言
多环谐振微陀螺性能参数的有限元计算
基于增强型基底压电驱动器的微型四足机器人的设计和制造
波浪式MEMS谐振陀螺的设计与研究
面向Micro-IMU的MEMS三维可折叠系统的设计与研制
基于单目的轻量化目标识别系统设计
微型扑翼飞行器诱导角与几何攻角的研究
微型折叠探测机器人控制系统的设计与实现
圆盘多环内双梁谐振陀螺的结构设计和制备方法
内S形柔性梁多环谐振陀螺热弹性阻尼分析
量子信息专题简介
应用于微型扑翼飞行器的实时视觉系统设计
面向毫克级仿昆扑翼微飞行器的力-力矩传感器
多环谐振式微机械陀螺频率跟踪电路研究
仿生蝙蝠飞行器的设计制造
基于智能复合微结构的亚手掌尺度压电双驱扑翼微飞行器的研究
仿蜂鸟微飞行器扑翼机构运动学、升力及Clap-fling机制研究
基于微多环谐振陀螺仪的馈通效应研究
结构解耦四质量块微陀螺仪的设计与制备
微半球陀螺测控电路国内外现状与关键技术
微型可变形轮式机器人研究
基于FPGA的压电半球谐振陀螺数字测控系统设计
面向扑翼微飞行器的扭矩传感器研究
圆盘多环柔性梁谐振陀螺结构设计与制备方法
基于MEMS传感器的微飞行器姿态理论与实验研究
光和原子关联与量子计量
单片集成自装配微爬行机器人研究
电容式硅基MEMS传声器的结构优化设计
柔性MEMS流速传感器的制造及其电路设计
石英半球型微谐振器的仿真与加工
基于MATLAB的扑翼飞行器三维重构算法
压电式微型仿生六足分节机器人结构设计与加工工艺研究
昆虫尺度微型仿生飞行器的研究
MEMS半球谐振陀螺的角速度积分及其FPGA设计
基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制作
用于迫弹速度测量的柔性MEMS流速传感器仿真
仿昆微扑翼飞行器三维整体设计及制造
“捕捉”薛定谔猫与未来量子技术
微扑翼飞行器驱动电路设计
用于各向同性湿法刻蚀中的氮化硅掩膜
压电半球谐振陀螺的数字检测方法
压电式微固体模态谐振器电荷放大器负载效应的研究
压电微固体模态陀螺的安装技术
仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的性能参数分析
基于OpenCV的微型扑翼飞行器视觉伺服系统
扑翼微飞行器紫外激光加工技术
仿昆扑翼微飞行器中高效传动铰链的研究
摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺
基于聚酰亚胺基底的热剪切应力传感器设计
基于聚酰亚胺基底的热线式剪切应力传感器
基于厚度剪切振动的压电圆盘微陀螺的制作和分析
温度控制的PCR-CE微流控芯片的设计与制作
柔性微热剪切应力传感器阵列
超微仿生扑翼飞行器压电双晶驱动器仿真与优化
基于LabVIEW的PCR芯片温度控制系统
基于DSP和DDS技术相位及频率严格可调的多路同步信号发生器
非硅MEMS电容式微加速度计的测控电路设计
集成电极的PDMS-玻璃微流控芯片的制备
石英微机械陀螺的研究进展
基于DSP高速外扩FLASH的高精度数据采集系统
基于MEMS技术的SU-8仿昆虫微扑翼飞行器设计及制作
MEMS微陀螺仪研究进展
具有自检自标定功能的高负载电容式金属微加速度计的研究
抗磁悬浮的原理、特点和应用
压电型微固体模态陀螺的相位差检测
基于DSP的静电悬浮微陀螺模拟伺服系统的研究
基于ARM和FPGA的微加速度计数据采集系统设计
静电悬浮微陀螺多路同步DDS信号发生器设计
MEMS流体陀螺的研究进展
基于科氏加速度的微陀螺
静电悬浮微陀螺的压膜阻尼特性
一种新型玻璃基底可用于微陀螺的反磁悬浮结构的设计与制造
轮腿式微型机器人系统研究
FPGA控制MEMS强链的移动硬盘加密设计
MEMS强链在硬盘加密系统中的应用研究
静电悬浮转子微陀螺宏模型的提取和分析
基于FPGA驱动微陀螺旋转的移相电路
静电悬浮转子微陀螺微位移数字化电容检测通道设计
静电悬浮转子微陀螺微位移数字化电容检测通道设计
基于DSP的静电悬浮转子微陀螺测控系统
基于MEMS强链和双FPGA的硬盘加密系统
基于MEMS强链和FPGA的物理认证系统
基于ARM平台的MEMS输入设备的固件设计
MEMS微电机综述
基于MEMS＆FPGA的USB移动硬盘加解密系统
静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统的研究
静电悬浮转子微陀螺高努森数下的空气阻尼力矩
基于MEMS强链的移动硬盘加密系统设计和FPGA实现
模糊控制在静电悬浮转子微陀螺起支中的应用
基于DSP的静电悬浮转子微陀螺多自由度控制系统设计
Pyrex玻璃金属化凹坑的湿法腐蚀
悬浮转子式微陀螺技术关键、创新设计和最新进展
反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究
双定子静电微电机控制系统的信号检测研究
静电悬浮转子微陀螺信号发生电路有源带通滤波器设计
电磁驱动型MEMS安全保险装置关键技术研究
曲柄摇杆扑翼机构的联合仿真及优化设计
静电悬浮转子微陀螺再平衡回路设计
PCR温度控制技术的研究进展
仿生微机器人的设计仿真、控制与微制造
非硅MEMS技术及其应用
连续变焦超长超高真空准直、聚焦系统和水冷双晶单色器
非硅MEMS技术及其应用研究
用于信息安全的MEMS强链
用于北京同步辐射X光束线准直、单色、聚焦系统
基于不完全齿轮传动的扑翼机构
微型陀螺仪接口电路
微型纵列反转双旋翼飞行器
微型四足机器人
MEMS电容式陀螺仪的数字馈通取消系统
基于联合仿真的谐振陀螺优化方法和系统
基于自加热非晶锗热电阻的柔性MEMS流速传感器
基于非晶锗热电阻的柔性MEMS流速传感器
可调力/力矩的传感器及制作方法
可折叠轮式变形机器人装置
溢水免疫的非接触电力传输热水壶
电极微陀螺及其制备方法
镍电极内驱圆形梁谐振微陀螺
谐振微陀螺及其制备方法
电极谐振微陀螺
弹体飞行速度测量方法及系统
一种双分立电极分布式全角度信号控制系统
一种分立与环形双电极分布式全角度控制系统
一种超微尺寸飞行器风洞实验台的装置
采用DSP与FPGA的微半球谐振陀螺控制及信号检测系统和方法
应用于微型机器人毫克级别的压电陶瓷驱动电路系统
仿水黾压电驱动式超微扑翼两栖机器人
基于压电驱动的高精度微型旋转电机
基于压电驱动的高精度微型直线电机
侧分立相邻面环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法
内分立外环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法
上环形下分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法
内环形外分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法
上分立下环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法
上分立下环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法
上下分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法
相邻面双分立电极分布式的微陀螺仪及其制备方法
内外分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法
一种考虑能量损耗的压电陀螺等效电路
压电陀螺的导纳圆测量方法及装置
基于FPGA的压电陀螺等效电路的π网络等相位测试法及装置
基于数字化嵌入式系统的微陀螺驱动与检测装置及方法
压电半球谐振微陀螺仪的数字控制检测系统
压电半球谐振微陀螺仪的数字信号处理系统
一种昆虫尺度压电驱动扑翼微飞行器
一种具有防错位机构的高频扑翼仿生昆虫飞行器
一种具有可控被动扭转的高频扑翼仿生昆虫飞行器
一种对材料进行层压叠合和加热的装置
压电半球谐振陀螺仪的全角度控制信号检测系统
三温度区域通道内嵌连续流式叠层PCR芯片
叠层结构腔室内温度传感PCR芯片
基于MEMS的柔性流速传感器及其应用和制备方法
电极可重复使用的PCR芯片
面外电磁式半球形微陀螺仪及其制备方法
半球形微陀螺封装结构及其制备方法
面外压电式半球形微陀螺仪及其制备方法
蜂窝状固体波动微机械陀螺仪及其制备方法
一种圆盘多环内双梁孤立圆环谐振陀螺及其制备方法
一种圆盘多环外双梁孤立圆环谐振陀螺及其制备方法
一种圆盘多环内S形柔性梁谐振陀螺及其制备方法
一种圆盘多环外S形柔性梁谐振陀螺及其制备方法
湿法腐蚀实验平台
适用于仿生扑翼微飞行器的多功能可扩展测试平台
基于EFAB工艺的光耦合式微机电密码锁及其制备方法
一种内外环固定式压电驱动多环陀螺及其制备方法
一种外缘固定式压电驱动多环陀螺及其制备方法
一种外缘固定式静电驱动多环陀螺及其制备方法
一种外缘固定式激光加工压电驱动多环陀螺及其制备方法
湿法腐蚀导流槽装置及其使用方法
一种静电驱动式参数激励的微机械固体波动盘形陀螺仪
环形玻璃包围式玻璃吹制微型半球谐振陀螺及其制备方法
一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法
一种图形转移的压印式微型半球谐振陀螺及其制备方法
一种内外双电极式微型半球谐振陀螺仪及其制备方法
基于微圆球的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法
半球体固态波动微陀螺仪及其制备方法
一种压电驱动和检测的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法
一种双半球结构微型谐振陀螺仪及其制备方法
一种双端固定式硅基微型半球谐振陀螺仪及其制备方法
下凹环形压电谐振陀螺仪及其制作方法
半环形压电谐振陀螺仪及其制备方法
一种基于载波检出的微电容陀螺信号检测方法
简易真空高压环境装置及其标定方法
可变共振频率电磁驱动式双驱动微扑翼飞行器
上下贯通支撑的玻璃金属半球谐振微陀螺
基于电磁参数激励驱动方式的固体波动陀螺
外套电极的半球谐振陀螺
上下贯通支撑的半球谐振微陀螺
一种微型半球非晶合金谐振器及其制备方法
一种微型吹塑半球谐振器陀螺及其制备方法
磁致伸缩固体振子双轴微陀螺
基于硅平面加工工艺的静电驱动式体声波固体波动微陀螺
导轨滑块型圆盘式微机械固体波动陀螺封装装置及方法
燕尾槽滑动的圆盘式微机械固体波动陀螺封装装置及方法
一种集成温度控制PCR-CE微流控芯片及其制作方法
双电磁驱动式微扑翼飞行器
基于柔性铰链的双压电驱动器式微扑翼飞行器
摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺
摇动质量体声波固体波动微陀螺驱动与检测电路
压电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法
电磁驱动电磁检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法
静电驱动压电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法
静电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法
电磁驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法
压电驱动扑翼微飞行器三自由度平台
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