科研专业方向
研究领域：
微电子系统技术
研究方向：
仪器科学与技术：微型机械电子系统（MEMS）与微纳米技术；MEMS传感器技术；精密测量技术
赵老师
讲师
陕西西安市
科研重点分布
近年科研重点
2020
CMUTs 机电耦合系数 解析式 功耗 有限元仿真 结构设计 共晶键合 试验测试2021
流体黏度 测量方法 微机械电子系统 谐振科研产出增长曲线
历年科研产出
学科论文分布
自动化技术：25
工业通用技术及设备：6
航空航天科学与工程：4
动力工程：1
电力工业：1
无机化工：1
有机化工：1
总数:
35
展开
>
- 产学研合作
- 基金课题
- 荣誉&成就
- 科研成果
产学研合作
合作信息
| 合作单位 | 合作论文数量 |
|---|---|
| 陕西省计量科学研究院 | 10 |
| 新疆交通职业技术学院汽车与机电工程学院 | 8 |
| 厦门大学机电工程系 | 3 |
| 清华大学摩擦学国家重点实验室 | 3 |
| 苏州长风航空电子有限公司传感器事业部 | 3 |
| 教育部微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 | 2 |
| 西安航天动力研究所 | 2 |
| 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院 | 1 |
| 北京航空航天大学惯性技术重点实验室新型惯性仪表与导航系统技术国防重点学科实验室 | 1 |
| 西北核技术研究所 | 1 |
| 苏州科技大学机械工程学院 | 1 |
| 航空工业自控所惯性技术航空科技重点实验室 | 1 |
| 上海交通大学 | 1 |
展开全部
基金课题
| 论文标题 | 基金名称 |
|---|---|
| 基于微机械电子技术的黏度测量传感器 | 国家自然科学基金项目 |
| CMUTs机电耦合系数解析式及其对功耗的影响 | 国家重点研发计划 |
| 层合薄膜电容式微加工超声换能器（CMUTs）谐振频率分析 | 国家重点研发计划 |
| 基于共晶键合技术的CMUTs结构设计与试验测试 | 国家重点研发计划 |
| 倒杯式耐高温高频响压阻式压力传感器 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器 | 国家自然科学基金项目 |
| MEMS耐高温压力传感器封装工艺 | 国家自然基金 |
| 特种压阻式加速度传感器的研制 | 国家高技术研究发展计划MEMS重点基金资助项目 |
| 采用微传感器的黏/密度实验系统及其性能测试 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 采用微传感器的黏/密度实验系统及其性能测试 | 51375378） |
| 耐高温压阻力敏硅芯片及静电键合工艺 | 中国博士后科学基金资助项目 |
| 基于SOI的E型结构MEMS压力芯片优化设计与制造 | 博士后国际交流计划引进项目 |
| 基于扩张状态观测器的稳定平台非奇异终端滑模控制 | 国家自然科学基金 |
| 耐高温硅隔离压阻力敏芯片的研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 油气田监测高性能微传感器及数字化系统 | 国家高技术研究发展计划863项目 |
| 一种航空配套微压传感器芯片设计及制备 | 博士后国际交流计划引进项目 |
| 矩形微悬臂梁的流固耦合谐振频率分析 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器 | 国家自然科学基金重点项目 |
| 基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器 | No.90923001）陕西省科学技术研究发展计划项目 |
| 特种微机电系统压力传感器 | 国家自然科学基金 |
| 一种齐平封装的MEMS高频响压力传感器 | 国防基础科研资助项目 |
| 自增强承压圆筒结构的超高压力传感器 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 耐高温动态压力传感器与实验分析研究 | 国家自然科学基金 |
| 基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究 | 国家自然科学基金资助项目 |
| 用于恶劣环境的耐高温压力传感器(英文) | Supported by the National Natural Science Foundation of China |
| 用于恶劣环境的耐高温压力传感器(英文) | 50836004） |
展开全部
荣誉&成就
"第三届西安青年科技人才奖获得者" 2013年
科研成果
- 期刊论文
- 技术成果
- 专利
微纳系统微区感应加热技术的研究进展
基于微机械电子技术的黏度测量传感器
基于微机械电子技术的黏度测量传感器
基于SOI的E型膜结构耐高温压力芯片的设计与制造
基于共晶键合技术的CMUTs结构设计与试验测试
CMUTs机电耦合系数解析式及其对功耗的影响
CMUTs机电耦合系数解析式及其对功耗的影响
基于共晶键合技术的CMUTs结构设计与试验测试
基于SOI的E型结构MEMS压力芯片优化设计与制造
层合薄膜电容式微加工超声换能器（CMUTs）谐振频率分析
层合薄膜电容式微加工超声换能器（CMUTs）谐振频率分析
一种航空配套微压传感器芯片设计及制备
基于扩张状态观测器的稳定平台非奇异终端滑模控制
“互联网+”时代下的传感测试技术发展
耐高温动态压力传感器与实验分析研究
微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器
采用微传感器的黏/密度实验系统及其性能测试
基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器
矩形微悬臂梁的流固耦合谐振频率分析
采用微传感器的黏/密度实验系统及其性能测试
油气田监测高性能微传感器及数字化系统
矩形微悬臂梁的流固耦合谐振频率分析
基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器
特种微机电系统压力传感器
自增强承压圆筒结构的超高压力传感器
基于PR方程和MHV1混合规则的溶液黏度模型
耐高温压阻力敏硅芯片及静电键合工艺
倒杯式耐高温高频响压阻式压力传感器
耐高温硅隔离压阻力敏芯片的研究
一种齐平封装的MEMS高频响压力传感器
MEMS耐高温压力传感器封装工艺
用于恶劣环境的耐高温压力传感器(英文)
基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究
特种压阻式加速度传感器的研制
MEMS传感器测量正庚烷密度和黏度的实验研究
多梁式单质量块面内双轴加速度传感器芯片及其制备方法
基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器
一种双C型压电式动态轴重传感器
多靶标高通量核酸自动化定量检测关键技术及产业化应用
MEMS筒式耐高温超高压力传感器
一种复合式MEMS耐高温超高压力传感器
网格压力传感芯片及制备方法、压力分布式传感器
耐高温石油井下动态压力传感器
固态压阻式耐高温压力传感器及其制备方法
压电式车辆动态称重传感器
危化品状态检测MEMS传感器产业化关键技术与应用
耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发
SOI硅微固态传感器关键技术研究及系列产品开发
一种具有隔离凹槽低应力双压电层结构的PMUT及其工作和制备方法
一种具有弯曲和扭转变形功能的柔性PMUTs及其制备方法
一种可在线监测主轴承轴向游隙的掘进机及其工作方法
一种壳核微探针及其制备方法
基于PZT薄膜的传感装置、制备方法和汽车安全气囊系统
一种柔性集成传感器及同时测量温度、压力和介质的方法
一种十字梁膜应力集中微压传感器芯片及其制备方法
一种掘进机及其能实现温度实时监测的主驱动轴端密封
具有应力集中结构的微压传感器芯片及其制备方法
一种压阻梁应力集中微压传感器芯片及其制备方法
一种压阻式双轴加速度传感器芯片及其制备方法
一种应用于机械灵巧手手指的触觉传感器系统
一种光纤光栅温度/振动/应变复合传感器及其工作方法
一种少模光纤光栅三参量复合传感器及其工作方法
一种基于金刚石NV色心的扫描探测系统
一种微压传感器芯片及其制备方法
一种柔性电极、电容器及制备方法
一种建筑构件弯曲变形检测传感器及制备方法
一种机械整流式压电悬臂梁振动能量收集器
一种石墨烯压力传感器及其制备方法
一种基于倒装芯片的温度压力集成传感器及其封装方法
具有应力集中结构的压阻式压力传感器芯片及其制备方法
一种隔离槽阵列结构的压力传感器芯片及其制备方法
一种多参数测量的智能手套
一种全有机材料制备的压电式柔性压力传感器及制备方法
一种压电压阻复合式触觉传感器及制备方法
一种基于电磁激励电磁检测的硅微谐振式表压传感器芯片
一种内嵌拱形薄膜驱动的PMUT单元及其制备方法
一种内嵌拱形薄膜驱动的PMUT单元及其制备方法
基于电磁激励压阻检测的面内振动硅微谐振式压力传感器
基于静电激励压阻检测的差动式硅微谐振式压力传感器
一种原子磁强计的MEMS气室碱金属原子源选择方法
一种高品质因子压电悬臂梁密度传感器芯片及其工作方法和制备方法
一种多操作模式的压电黏度传感器芯片及其工作方法和制备方法
一种电极形状调控的高超声波收发性能CMUTs
一种多功能薄膜高灵敏度CMUTs气体传感器及其制备方法
一种多参数高选择性CMUTs气体传感器及其使用与制备方法
一种检测爆炸对人体损伤程度的电子皮肤结构及检测方法
微位移传感器用光纤探针制备方法及微位移传感器和应用
一种基于静电纺丝PVDF-TrFE纤维薄膜的口罩热电能量收集器
压电激振受拉式硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法
一种具有纯轴向变形敏感梁的MEMS压阻式三轴冲击加速度计芯片及其制备方法
变频自聚焦混合驱动收发一体化PMUT单元及其制备方法
一种面内双向振动体PZT能量收集器
一种均布应力压电简支梁振动能量收集器及能量收集方法
一种压电式柔性三维力传感器
一种面内双轴压阻加速度传感器芯片及其制备方法
一种面内双轴加速度传感器芯片及其制备方法
CMUTs谐振式生化传感器的低电压阻抗匹配方法及匹配网络
CMUTS谐振式生化传感器的频率追踪电路
一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法
一种全碳化硅MEMS三轴加速度计及其制造方法
一种高机电耦合系数CMUT及其制备方法
静电-压电混合驱动收发一体化CMUT及其使用方法和制备方法
一种具有T形空腔结构的空气耦合CMUT及其制备方法
一种CMUTs流体密度传感器及其制备方法
基于CMUTs谐振式生化传感器的敏感功能层制备方法
一种微压力传感器及其制备与检测方法
一种硅杯结构的热扩散率传感器芯片及其制备方法
一种采用压阻式微悬臂梁在线快速测量流体密度的方法
一种基于晶圆键合技术的黏度传感器芯片及其制备方法
一种基于注氧隔离技术的黏度传感器芯片的制备方法
一种用于密度测量的电容微加工超声传感器及其制备方法
具有双惠斯通全桥结构的MEMS流体密度传感器芯片及制备方法
基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器
基于微机电系统技术的粘度传感器芯片及其制备方法
基于微机电系统技术的密度传感器芯片及其制备方法
展开全部
数据信息来源于网络，若有侵权请联系客服