科研专业方向
研究领域：
极端制造与专用机械装备制造技术
研究方向：
生物医学微机电系统 （可穿戴/可植入生物医学微机电系统、微流控芯片）；极端环境微传感器器与微执行器 （深低温、高温、高压等环境）；微能源技术；微纳制造与装备
刘教授
副教授
上海上海市
科研重点分布
近年科研重点
2002
SU-8胶 高深宽比 UV-LIGA 微机电系统 UVLIGA 结合性科研产出增长曲线
历年科研产出
学科论文分布
无线电电子学：31
自动化技术：22
电力工业：19
生物医学工程：10
仪器仪表工业：8
电信技术：5
工业通用技术及设备：3
生物学：3
急救医学：3
临床医学：3
物理学：2
机械工业：2
外科学：2
材料科学：2
金属学及金属工艺：2
眼科与耳鼻咽喉科：1
化学：1
基础医学：1
无机化工：1
计算机硬件技术：1
核科学技术：1
预防医学与卫生学：1
神经病学：1
中医学：1
心血管系统疾病：1
数学：1
消化系统疾病：1
呼吸系统疾病：1
总数:
107
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- 产学研合作
- 基金课题
- 荣誉&成就
- 科研成果
产学研合作
合作信息
| 合作单位 | 合作论文数量 |
|---|---|
| 纳米加工技术国家级重点实验室 | 12 |
| 薄膜与微细技术教育部重点实验室 | 12 |
| 纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 | 8 |
| 微米/纳米加工技术国家级重点实验室 | 7 |
| 纳米技术及应用国家工程研究中心 | 5 |
| 吉林大学机械科学与工程学院 | 4 |
| 同济大学物理系 | 3 |
| 南昌工程学院机械与电气学院 | 3 |
| 江西省精密驱动与控制重点实验室南昌工程学院机械与电气工程学院 | 2 |
| 南昌大学机电工程学院 | 2 |
| 浙江省人民医院ICU | 2 |
| 上海诺诚电气有限公司 | 1 |
| 陕西省人民医院耳鼻咽喉头颈外科 | 1 |
| 赤峰医学院附属医院耳鼻咽喉科 | 1 |
| 纳电子系 | 1 |
| 浙江师范大学浙江省城市轨道交通智能运维技术与装备重点实验室 | 1 |
| 纳米制造国家重点实验室 | 1 |
| 德国弗朗霍夫IZM研究所高密度互连及晶圆级封装部 | 1 |
| 微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 | 1 |
| 南昌工程学院机械动力系 | 1 |
| 赤峰学院附属医院 | 1 |
| 微米／纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 | 1 |
| 霍尼韦尔公司上海传感器实验室 | 1 |
| 河海大学 | 1 |
| 纳米加工技术国家重点实验室 | 1 |
| 美国Honeywell公司上海传感器实验室 | 1 |
| 纳米加工技术国家级实验室 | 1 |
| 上海20030 | 1 |
| 微米纳米加工技术国家重点实验室 | 1 |
| 吉林大学 | 1 |
| 机械科学与工程学院 | 1 |
| 安徽工业大学机械工程学院 | 1 |
| 特种重载机器人安徽省重点实验室 | 1 |
| 上海市松江区中心医院 急诊危重病科 | 1 |
| 兰州大学第一医院ICU | 1 |
| 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 | 1 |
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基金课题
| 论文标题 | 基金名称 |
|---|---|
| 一种改进的双螺旋结构MEMS加热器的设计和制造（英文） | National Natural Science Foundation of China |
| 用SU-8胶制高深宽比微结构的试验研究 | 中国博士后基金资助 |
荣誉&成就
"入选教育部新世纪优秀人才计划" 2009年教育部
科研成果
- 期刊论文
- 技术成果
- 专利
E型梁结构尾涡振动式压电流体俘能器的分析与试验
Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究
硅阵列探针上基于IrOx的pH传感器和电生理信号传感器
基于章鱼吸盘柔性干电极的可穿戴脑电采集系统
基于铂黑的微针电极阵列表面修饰方法
基于溅射法集成氧化铱的双模微电极阵列
基于MEMS工艺的碱金属蒸气腔室微加热器
原位封装MEMS低温温度传感器
大气压He/O2微等离子体射流阵列及其薄膜处理均一性研究
全植入人工面神经恢复周围性面神经麻痹兔眼轮匝肌闭眼功能的实验研究
一种回折梁结构低频压电能量采集器
基于CNT/aPDMS柔性干电极的可穿戴电生理信号采集系统
基于加权主成分分析和高斯混合模型的神经元峰电位分类
面向植入式脑机接口系统的微型化设计
面向人体运动检测的纸基柔性压力阵列传感器
对大气压低温等离子体刻蚀聚合物薄膜的工艺研究
微流控静态液滴阵列芯片制备非球形微粒
面向人工耳蜗的柔性生物微电极稳定性研究
医用给药硅实心微针的切割与湿法刻蚀结合的制备工艺研究
用于心血管介入治疗的柔性MEMS电化学阻抗传感器
纳米铂黑作为电极镀层的细胞毒性评价
脓毒症患者血小板微粒与微RNA-155水平的变化规律及意义
超细Ar/O2大气压等离子体射流选择性去除聚氯代对二甲苯薄膜（英文）
冷冻靶中硅冷却臂的温度场和力学分析
生物传感器、生物电子、生物医疗器件、生物微机电与纳机电技术及其应用国际学术会议
NiCr薄膜微加热器在低温环境下的电学特性研究
ICU患者呼吸道念珠菌是否需要去定植
基于MEMS技术可植入微压力传感器的检测电路设计（英文）
用于低温环境的铂电阻温度微传感器
二级医院联合社区一体化管理对高血压治疗的研究
Nod2-Rip2信号通路在短肽载体PepT1介导的细菌产物引发小肠黏膜炎性损伤中的作用
ω-3鱼油脂肪乳对慢性阻塞性肺疾病急性加重机械通气患者氧化应激及炎性介质的影响
用于电刺激的植入式铂黑微电极(英文)
乌司他汀对脓毒血症患者血小板的影响
基于Parylene的柔性生物微电极阵列的制作
基于硅与非硅复合方法的异平面空心微针制作
超声液体环境下压电式振动能量采集的研究
建立“人工面神经技术”恢复周围性面瘫兔的闭眼功能
利用PZT块材制备微型压电悬臂梁采能器的研究
基于CVD技术的异步多通路电针灸针的研究
压电微能量采集器PZT厚膜制备及其图形化研究
一种宽频的磁式压电振动能量采集器
基于CC2430的无线可植入微刺激器电路研究
真空沉积掺杂制备PARYLENE功能薄膜研究
基于PDMS的芯片电极多层互连系统的研究
一种基于声表面波驱动液滴的二维数字微流体检测技术
基于柔性衬底的三维生物刺激微电极阵列研究
新型聚酰亚胺图形化工艺制备视网膜电极
微型压电振动能量采集器的研究进展
一种肌电信号的前端处理方法
兔眼轮匝肌的肌电信号研究
建立“人工面神经反射弧”以恢复失神经支配的眼轮匝肌闭眼功能
可植入眼压微传感器
微型压电能量采集器的仿真、制造与测试
用于微机电系统的微型带阻滤波器(英文)
改性SU8光刻胶的光学特性及其工艺
微压电式振动能量采集器的研究进展
用于视觉假体的柔性生物微电极阵列的设计和制作
基于MEMS技术的异平面空心金属微针
一种新型的电热驱动MEMS微继电器的研制
基于FPGA的微刺激器设计
UV-LIGA技术在多层微结构制备中的工艺研究
用于药物传输的MEMS平面金属微针
基于声表面波的微型液滴雾化器技术
基于Parylene的球形凸起微电极阵列的研究
基于微悬臂梁的压电振动能量采集器的分析与制造
基于MEMS工艺的异性材料定向天线（英文）
基于微机电系统工艺的微型左右手复合传输线宽带滤波器
面向未来需求的细间距电化学沉积金凸点工艺(英文)
基于MEMS的压电微能量采集器的电路研究与测试
低温纳米压印技术制备微纳图案的研究
Parylene薄膜及其在MEMS中的应用
聚合物ParyleneC薄膜的反应离子刻蚀研究
基于柔性衬底的人造视网膜生物微电极阵列研究
人造视网膜生物电极阵列研究
一种新型非接触圆盘压电微电机
微拾振器压电悬臂梁结构的设计与测试
MEMS微拾振器制备工艺研究
微纳工艺中防粘连自组装薄膜技术的研究
SU-8光刻胶氧刻蚀的研究
压电型微悬臂梁制备中RIE刻蚀硅工艺的研究
圆盘型非接触超声波马达定子的有限元分析
UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响
微流控芯片金属模具制备工艺研究
一种新型非对称电极的非接触压电微马达
SU-8胶光刻工艺参数优化研究
基于旋涂的纳米压印技术研究
UV-LIGA双层微齿轮加工工艺研究
PZT厚膜拾振器微图形化工艺研究
一种利用PDMS工艺解决SU-8去胶问题的方法（英文）
圆盘型非接触超声波马达定子的振动模拟与测试
非接触压电微马达的仿真与实验研究
非接触压电马达驱动机理分析
基于SU-8胶转子的非接触压电微马达
PZT厚膜压电悬臂梁结构的有限元分析
圆盘型非接触压电微马达定子的振动分析
纳米压印技术
正交法对DEM技术中模压工艺的优化研究
声表面波马达
平面微弹簧的模拟、加工制备和力学性能表征研究
微机械系统非线性动力学特性与振动控制
非硅MEMS技术及其应用研究
用于全时段复合式全植入脑机接口系统的供能结构和方法
一种全植入脑机接口系统的模块化结构
一种分形结构微电极及其制备方法和导管
一种激光聚变点火靶双锥装配观测及调整系统
一种柔性双面神经探针及其制备方法
一种多层调制结构聚变调制靶的制备方法
一种CD-CH聚合物复合空心微球及其制备方法
一种集成馈通基板的柔性电极及其制备方法和电极器件
面向多类型神经信号采集的电极阵列结构及其制备方法
一种植入式柔性高密度多功能神经探针及其制备方法
用于生物植入的柔性高密度多功能神经探针及制备方法
一种基于负拉阻材料的光遗传学自适应抑制心动过速系统
一种基于粒子图像测速法的多模态视触觉传感系统及方法
一种基于掺杂过渡金属氮化物温度传感器及其制备方法
一种可穿戴的HD-sEMG传感器及其制备方法
一种超薄聚酰亚胺薄膜及其制备方法
一种化学气相沉积装置以及高厚度Parylene-N膜的制备方法
一种植入式压电MEMS超声换能器及其制备方法
面向航空发动机的阵列式柔性压电传感器及其制备方法
一种具有双重光路隔离的微透镜阵列及其制备方法
用于动静态协同检测的压电-压阻柔性传感器及制备方法
一种低温气体湿度测量系统及方法
一种多功能集成超微/纳米电极及其制备方法
一种多功能集成超微/纳米电极及其制备方法
固态掩膜聚焦的大气压低温等离子体射流加工方法及应用
一种光学谐振器低温温度传感器及其制备、封装方法
一种微针阵列式脑机接口器件及其制备方法
一种柔性微传感器系统、可延展柔性器件及制备方法
一种封闭式振动膜压电MEMS扬声器及其制备方法
仿耳蜗螺旋形振动膜的压电MEMS扬声器及制备方法
双环形环绕圆形振动膜的压电MEMS扬声器及制备方法
夹持模具、利用超声振动辅助电极植入装置及植入方法
一种微柱状结构神经电刺激电极及其制备方法
一种用于长期脑电采集的水凝胶电极及其制备方法
一种用于脑电采集的准干电极及其制备方法
基于大气压冷等离子体微加工的人工仿生复眼制备方法
具有增强型褶皱微结构的柔性脑机接口电极及制备方法
一种三维屈曲结构柔性神经电极及其制备工艺
一种具有蛇形金属屏蔽结构的记录电极及制备工艺
一种光电集成可拉伸柔性神经电极及制备方法
可穿戴式布莱叶盲文识别系统及其识别方法、制备方法
温度传感器、电极与温度敏感膜的连接结构及制备方法
一种免刻蚀的电阻式深低温温度传感器的制备方法
一种负温度系数电阻型深低温温度传感器及制备方法
基于蜿蜒线的柔性MEMS可延展传感器及其制备方法
集成内部金属屏蔽层的光电神经探针及其制备方法
柔性多通道可重复阵列式HD-sEMG传感器及制备
用于生物植入的柔性可拉伸神经探针以及其制备方法
一种植入式高密度电极点柔性探针电极及制备方法
一种能量采集器及植入式自供能医疗电子器件
一种柔性的MEMS双电层电容压力传感器及其制备方法
一种可驱动型神经光电极阵列的制备方法
用于微电极与柔性排线之间热压焊接的方法
一种油田注水井配水管电控工具的供电装置
用于生物电记录或电刺激的翘曲型柔性电极及其制备方法
基于微加工工艺的深低温温度传感器封装结构及制备方法
一种基于导电通孔的温度传感器封装结构及制备方法
一种人工耳蜗电极及其制备方法
一种人工耳蜗电极及其制备方法
一种基于涡激振动的管道流流速监测自供电传感器
Cu-Zn二元掺杂SnO＜sub＞2＜/sub＞高能面封闭八面体材料及制备方法
大鼠腿部肌肉电刺激和肌电信号采集柔性器件及制备方法
LED光刺激和电记录集成的柔性神经电极器件及其制备方法
一种柔性软排线和聚对二甲苯柔性电极的热压连接方法
一种柔性软排线和聚对二甲苯柔性电极的热压连接方法
一种用于长期脑电信号采集的脑电极及其制备方法
一种用于微电极修饰的复合材料电化学沉积制备方法
一种大气压等离子体射流检测溶液中金属离子的装置
一种集成掩膜板的大气压等离子体射流装置
一种制备PDMS大气压超细等离子体射流的装置与方法
一种聚酰亚胺表面图形化导电银薄膜的制备方法
柔性压阻式触觉传感器阵列及其制备方法
低频压电式MEMS振动能量采集器及其制备方法
基于PVDF的微针型压电微力传感器及其制备方法
基于光驱动连续可调的可降解太赫兹超材料及其制备方法
一种基于柔性衬底上的压电厚膜及其制备方法
基于三维欧姆结构的超薄柔性电热可调谐超材料及其制备
一种视觉假体柔性神经微电极焊盘的制备方法
一种基于金丝球焊法的光刺激神经电极器件及其制备方法
一种柔性的MEMS气泡压力传感器及其应用和制备方法
叠层压电式井下能量采集装置
六自由度微等离子体射流加工平台系统
大气压低温等离子体射流阵列可调装置
基于激光切割工艺和深硅刻蚀工艺的低频能量采集器
基于热驱动的双频带连续可调的太赫兹波超材料
微型植入式超声共振无线能量传送接收器及其制备方法
一种基于自应力弯曲的环状卡夫微电极的制备方法
一种用于脑电测量的准干电极及其制备方法
柔性复合型干电极及其制备方法
鱼类生物机器人的可植入式柔性神经微电极及其制备方法
可植入多通道柔性微管电极及其制备方法
一种金属微/纳米管及其制备方法
纺丝增强的聚对二甲苯复合薄膜及其制备方法
导电聚合物-氨基酸复合镀层及其制备方法
一种基于二维半导体材料的低压场效应晶体管
一种基于二维半导体晶体的栅控PN结
一种基于分离栅电极的栅控PN结
一种低压场效应晶体管
无掩膜刻蚀聚合物薄膜的大气压空气微等离子体射流装置
压电静电复合式低频振动能量采集器
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