纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用

基于光刻机的传感器标定方法及系统

基于多块底层板卡的逻辑保护装置及方法

带精密测量的可控升降装置以及包含其的光刻设备

带精密测量的可控升降装置以及包含其的光刻设备

用于光刻设备的真空释气装置

直线运动系统的自适应递归前馈控制方法

直线运动系统前馈控制器的参数整定方法

干扰磁场下电机正弦误差的出力补偿方法及装置

基于光刻机双工件台运动系统的垂向保护方法及装置

一种平面电机运动控制方法、装置及系统

激光干涉光刻中光束入射角的调控装置及方法

一种真空气浮轴承及其性能检测装置

用于激光干涉光刻系统的相位测量装置及其使用方法

平面光栅标定系统

激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法和光刻系统

扫描干涉光刻系统

激光干涉光刻系统

一种感应式驱动的气浮动量球系统

一种电动式磁悬浮双框架动量球装置

一种多自由度球形电动式磁悬浮动量轮

一种多孔机械零部件优化设计方法

一种串联驱动的平面电机结构及其推力解算方法

多轴激光位移测量系统中干涉仪的安装偏差标定方法

一种基于牛顿法的多轴系统轮廓误差估计及迭代控制方法

一种基于磁场的六自由度位移测量方法

一种永磁弹射掩模台弹射区电机出力最小轨迹规划方法

一种对永磁弹射掩模台往复扫描运动轨迹的规划方法

一种磁悬浮平面电机推力分配方法

一种具有六自由度粗动台的掩模台系统

带平面衍射光栅测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统

一种具有图形锁定功能的激光干涉光刻系统

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统

带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩模台系统

一种大角度旋转的大行程磁浮运动平台

带激光干涉仪测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统

一种用于激光干涉光刻系统的光栅相位调制器

一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统

一种光刻机工件台系统

一种激光干涉光刻系统

一种电子开关设备

一种电子开关设备

一种具有永磁重力补偿结构的微动台

一种具有永磁重力支撑结构的微动台

一种大行程运动台位移测量方法

一种叠层线圈阵列的绕制方法

一种带有浸液回收装置的光刻机硅片台双台交换系统

一种利用激光干涉仪测量硅片台多自由度位移的装置

一种外差光栅干涉仪位移测量系统

一种六自由度微动工作台

一种用于微动台重力补偿的负刚度系统

带有浸液回收装置和激光干涉仪的硅片台双台交换系统

一种具有防撞功能的硅片台

一种掩模台工作台

一种六自由度磁悬浮工件台

一种多工位硅片台多台交换系统及其交换方法

一种双台交换激光尺测量信号切换装置及方法

一种无接触式粗精动叠层六自由度定位装置

一种双频光栅干涉仪位移测量系统

一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置

一种无接触式单自由度定位装置及其同步运动控制方法

一种利用线绳弹簧拉伸的推杆式晶圆夹持装置

一种利用线绳弹簧拉伸的晶圆夹持装置

一种利用气缸伸缩的推杆式晶圆夹持装置

一种利用气缸伸缩的推杆式晶圆夹持装置

一种双频激光干涉仪多轴位移信号处理方法

一种平面电机动子位移的测量方法

一种直线电机单自由度隔振装置及其运动控制方法

一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置

一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置

一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置

一种平面三自由度晶圆传输装置

一种无接触式粗精动叠层定位系统及其运动控制方法

一种铁芯式永磁同步直线电机固有的波动力标定方法

一种电机动子位移测量方法

平面电机动子位移测量装置及方法

一种基于电机磁场模型的动子位移测量方法

离子注入机多片晶圆定位系统及其定位方法

基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统

一种音圈电机

一种三自由度定位装置

一种六自由度定位装置

一种掩膜台系统

一种非接触式永磁支承结构

一种基于负刚度原理的永磁低频多自由度隔振度机构

一种基于负刚度原理的永磁低频单自由度隔振机构

利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法

离子注入机晶圆传送系统及晶圆传送方法

纳米精度六自由度磁浮微动台及应用

一种低频三自由度隔振器

一种基于直线磁钢阵列的运动平台一维定位方法

一种基于磁钢阵列的运动平台二维定位方法

一种采用线性霍尔阵列的永磁平面电机寻相检测方法

一种采用开关霍尔阵列的永磁平面电机寻相检测方法

一种光刻机硅片台双台交换方法及系统

光刻机硅片台双台交换系统及其交换方法

采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统

采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统

一种采用槽型线圈的平面电机

采用三维永磁阵列的平面电机

采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统